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大口径天文光学望远镜主镜镀膜的研究

摘要第1-5页
Abstract第5-8页
图目录第8-12页
表目录第12-13页
1 绪论第13-23页
   ·大型光学天文望远镜的发展第13-15页
   ·国内外天文望远镜镀膜情况第15-21页
   ·本文研究内容,论文内容组织与安排第21-23页
2 薄膜生长的分子动力学过程分析第23-38页
   ·薄膜生长初期的 Monte Carlo 模拟第24-29页
   ·倾斜沉积薄膜生长的 Monte Carlo 模拟第29-34页
     ·单个蒸发源不同沉积角薄膜沉积模拟第32-34页
   ·ZZ3200 保护膜倾斜沉积模拟结果第34-38页
3 天文望远镜主镜的反射膜研究第38-57页
   ·金属反射膜材料的选择第38-40页
   ·铝反射膜膜厚均匀性第40-42页
     ·膜厚理论分布第40-41页
     ·膜厚均匀性评价标准第41-42页
   ·ZZ3200 镀膜机铝膜膜厚分布分析第42-52页
     ·铝膜膜厚分析第43-49页
       ·钨丝个数的选择第43-45页
       ·主镜与蒸发源距离第45-47页
       ·更精确的膜厚模拟第47-49页
     ·实验结果及分析讨论第49-52页
   ·铝膜膜厚不均匀对望远镜成像的影响第52-57页
4 天文望远镜主镜保护膜的研究第57-66页
   ·保护膜对反射率的影响第57-59页
   ·ZZ3200 镀膜机保护膜均匀性分布第59-63页
     ·镜面工转时膜厚分布第60页
     ·蒸发舟的选择第60-62页
     ·保护膜膜厚分布不均匀性测量结果第62-63页
   ·保护膜对脱膜清洗的影响第63-65页
   ·MgF_2与 SiO_x保护效果比较第65-66页
5 丽江2.4 米望远镜主镜镀膜工艺研究第66-85页
   ·镀膜机房环境监测第66-68页
   ·一些丽江 2.4 米望远镜主镜镀膜过程中工艺问题第68-84页
     ·镀膜机真空室极限真空、恢复时间与升压率第68页
     ·铝丝材料断丝、滴落与喷溅的预防第68-70页
     ·铝膜牢固度第70-71页
     ·离子轰击第71-72页
     ·主镜旧膜的脱膜清洗第72-74页
     ·其它相关第74-84页
   ·丽江2.4米望远镜主镜镀膜过程工序安排第84-85页
6 丽江2.4米望远镜主镜安装调试及后期检测第85-93页
     ·2.4 米望远镜主镜的安装、调试第85-87页
     ·陪镀片反射率检测第87-88页
     ·丽江 2.4 米望远镜望远镜极限星等检测第88-93页
7 结论第93-95页
参考文献第95-102页
附录1第102-103页
致谢第103页

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