| 学位论文数据集 | 第1-5页 |
| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-15页 |
| 第一章 绪论 | 第15-28页 |
| ·研究背景 | 第15-16页 |
| ·永久性气体中痕量水分分析方法 | 第16-19页 |
| ·气相色谱法 | 第16页 |
| ·转化色谱法 | 第16-17页 |
| ·电化学方法 | 第17页 |
| ·露点法 | 第17-18页 |
| ·光腔衰荡法 | 第18页 |
| ·红外吸收光谱法 | 第18-19页 |
| ·其他检测方法 | 第19页 |
| ·高纯氨的制备与应用 | 第19-21页 |
| ·氨气的性质 | 第19页 |
| ·高纯氨等级分类 | 第19-20页 |
| ·高纯氨的应用及杂质水分的危害 | 第20-21页 |
| ·高纯氨中杂质分析 | 第21-26页 |
| ·高纯氨中杂质分析 | 第21-22页 |
| ·超高纯氨中痕量水分析简介 | 第22页 |
| ·重量法测氨中水 | 第22页 |
| ·乙炔比色法测氨中水 | 第22-23页 |
| ·转化色谱法测氨中水 | 第23页 |
| ·光腔衰荡法测氨中水 | 第23-26页 |
| ·本课题的研究意义及主要的研究内容 | 第26-28页 |
| 第二章 氨分解露点装置工艺设计及氨分解催化剂的筛选 | 第28-43页 |
| ·热分解露点法工艺设计 | 第28-30页 |
| ·引言 | 第28页 |
| ·热分解露点工艺设计 | 第28-29页 |
| ·热分解露点装置测试步骤 | 第29页 |
| ·超高纯氨进样器设计 | 第29-30页 |
| ·氨分解催化剂的选择 | 第30-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第三章 热分解露点法测量超高纯氨中痕量水 | 第43-57页 |
| ·引言 | 第43页 |
| ·实验试剂与仪器 | 第43-44页 |
| ·实验原理 | 第44-45页 |
| ·氮、氢混合气中的痕量水检测实验 | 第45-48页 |
| ·热分解露点装置测试高纯氮气 | 第45-46页 |
| ·热分解露点装置测试超高纯氨中痕量水 | 第46-47页 |
| ·高纯氨中痕量氧的及其他杂质组份检测 | 第47-48页 |
| ·结果与讨论 | 第48-56页 |
| ·高纯氮气中痕量水分的测试 | 第48-51页 |
| ·氨气中痕量氧气与其他杂质组份含量的测定 | 第51-53页 |
| ·超高纯氨中痕量水分测定 | 第53-54页 |
| ·光腔衰荡法与红外吸收光谱法对超高纯氨中痕量水分的测量 | 第54-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第四章 热分解露点法测试条件研究 | 第57-69页 |
| ·引言 | 第57-58页 |
| ·实验试剂与仪器 | 第58-59页 |
| ·实验过程 | 第59-61页 |
| ·氨分解温度对测试结果影响 | 第59页 |
| ·流量对测试结果影响 | 第59页 |
| ·变压置换对测试时间影响 | 第59-60页 |
| ·变流置换和超高纯氨进样器温度对测试时间影响 | 第60页 |
| ·不同冷源露点仪的检测限比较 | 第60-61页 |
| ·结果与讨论 | 第61-68页 |
| ·催化分解温度对露点影响考察 | 第61-62页 |
| ·流速对露点影响考察 | 第62-63页 |
| ·变压置换对测试时间影响 | 第63-65页 |
| ·变流置换对测试时间影响 | 第65-66页 |
| ·超高纯氨进样器温度对测试时间影响 | 第66页 |
| ·改进测试流程前后效果比较 | 第66-67页 |
| ·不同冷源露点仪检测限对比 | 第67-68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 第五章 结论 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 研究成果及发表的学术论文 | 第74-75页 |
| 作者和导师简介 | 第75-76页 |
| 北京化工大学硕士研究生学位论文答辩委员会决议书 | 第76-77页 |