| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-20页 |
| ·课题的研究背景和意义 | 第10-12页 |
| ·MEMS 执行器的工作原理和应用 | 第12-16页 |
| ·多场耦合分析的国内外研究现状 | 第16-18页 |
| ·国内研究现状 | 第16-17页 |
| ·国外研究现状 | 第17-18页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第18-19页 |
| ·本章小结 | 第19-20页 |
| 第2章 MEMS 执行器多场耦合分析的方法 | 第20-33页 |
| ·基于数学模型的多场耦合分析方法 | 第20-24页 |
| ·基本物理场的数学模型 | 第20-21页 |
| ·耦合场的数学模型 | 第21-22页 |
| ·多场耦合问题的数学建模和求解 | 第22-24页 |
| ·基于 MEMS 宏模型的多场耦合分析方法 | 第24-28页 |
| ·节点分析法 | 第24-25页 |
| ·等效电路法 | 第25-26页 |
| ·现代硬件描述语言宏模型 | 第26-27页 |
| ·黑箱分析法 | 第27-28页 |
| ·基于有限单元法的多场耦合分析方法 | 第28-31页 |
| ·基于 COMSOL Multiphysics 的多场耦合分析 | 第29-30页 |
| ·基于 ANSYS 的多场耦合分析方法 | 第30-31页 |
| ·本章小结 | 第31-33页 |
| 第3章 典型 MEMS 执行器的多场耦合分析 | 第33-61页 |
| ·静电驱动悬臂梁的多场耦合分析 | 第33-51页 |
| ·静电驱动悬臂梁的静力分析 | 第33-38页 |
| ·吸合效应 | 第38-41页 |
| ·气体阻尼 | 第41-45页 |
| ·静电驱动微悬臂梁的数值解法 | 第45-47页 |
| ·基于 COMSOL 的静电-结构耦合分析 | 第47-51页 |
| ·静电驱动梳齿的多场耦合分析 | 第51-60页 |
| ·静电驱动梳齿的结构 | 第51-52页 |
| ·静电驱动梳齿的电容和静电力计算 | 第52-55页 |
| ·基于 COMSOL 的静电-结构耦合分析 | 第55-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 第4章 应用引信环境力 MEMS 执行器的多场耦合分析 | 第61-84页 |
| ·MEMS 执行器所应用的引信环境力 | 第61-65页 |
| ·发射后坐力 | 第61-62页 |
| ·飞行离心力 | 第62-64页 |
| ·侵彻环境力 | 第64-65页 |
| ·一种应用引信双环境力的 MEMS 执行器的多场耦合分析 | 第65-75页 |
| ·MEMS 执行器的结构及工作原理 | 第65-68页 |
| ·MEMS 执行器的静力学分析 | 第68-70页 |
| ·MEMS 执行器的动力学仿真 | 第70-72页 |
| ·基于 COMSOL 的结构-阻尼耦合分析 | 第72-75页 |
| ·可区分两种引信前冲力环境 MEMS 惯性开关的多场耦合分析 | 第75-83页 |
| ·开关结构及工作原理 | 第75-77页 |
| ·MEMS 惯性开关的静力分析 | 第77-78页 |
| ·MEMS 惯性开关的动力学仿真 | 第78-80页 |
| ·基于 COMSOL 的结构-阻尼耦合分析 | 第80-83页 |
| ·本章小结 | 第83-84页 |
| 结论 | 第84-86页 |
| 参考文献 | 第86-90页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文和取得的科研成果 | 第90-91页 |
| 致谢 | 第91-92页 |
