基于SOI刻蚀衍射光栅的光谱仪的研究
| 致谢 | 第1-5页 |
| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 目录 | 第9-11页 |
| 1、绪论 | 第11-23页 |
| ·光谱仪的研究意义和发展现状 | 第11-13页 |
| ·光谱仪的研究进展和设计方法概述 | 第13-21页 |
| ·Raman光谱仪 | 第14-16页 |
| ·傅立叶变换光谱仪 | 第16-18页 |
| ·光栅光谱仪 | 第18-20页 |
| ·法布里-珀罗干涉仪(FPI)型光谱仪 | 第20-21页 |
| ·论文主要研究内容及概要 | 第21-23页 |
| 2、光谱仪相关理论基础 | 第23-39页 |
| ·光谱仪的基本理论 | 第23-30页 |
| ·光谱仪的理论依据 | 第23-25页 |
| ·光谱仪器的基本特性 | 第25-30页 |
| ·刻蚀衍射光栅的基本理论 | 第30-39页 |
| ·刻蚀衍射光栅的像差理论 | 第30-33页 |
| ·刻蚀衍射光栅的一点法、两点法及三点法 | 第33-36页 |
| ·刻蚀衍射光栅的数值模拟方法 | 第36-39页 |
| 3、微型光谱仪的设计 | 第39-49页 |
| ·总体设计方案 | 第39-40页 |
| ·微型光谱仪几何结构设计 | 第40-49页 |
| ·波导结构的设计 | 第40-47页 |
| ·光栅结构的设计 | 第47-49页 |
| 4、基于环形谐振腔与刻蚀衍射光栅级联的光学传感器 | 第49-59页 |
| ·微型光谱仪的应用现状 | 第49-51页 |
| ·基于环形谐振腔与刻蚀衍射光级联的光学传感器 | 第51-59页 |
| ·光学传感器简介 | 第52-53页 |
| ·光学传感器的结构和工作原理 | 第53-55页 |
| ·光学传感器结果与讨论 | 第55-59页 |
| 5、微型光谱仪的制作和测试 | 第59-84页 |
| ·掩模设计 | 第59-64页 |
| ·微型光谱仪制作中的主要步骤 | 第64-70页 |
| ·光刻 | 第64-66页 |
| ·刻蚀 | 第66-68页 |
| ·溅射 | 第68-69页 |
| ·减薄 | 第69-70页 |
| ·微光谱仪的制作流程 | 第70-74页 |
| ·微光谱仪芯片的测试方法与测试结果 | 第74-84页 |
| ·测试方法 | 第74-75页 |
| ·测试结果 | 第75-78页 |
| ·测试结果分析 | 第78-84页 |
| 6、总结与展望 | 第84-86页 |
| ·本文总结 | 第84页 |
| ·本文展望及对未来工作的建议 | 第84-86页 |
| 作者简介 | 第86页 |
| 成果附录 | 第86-87页 |
| 参考文献 | 第87-90页 |
