| 致谢 | 第1-6页 |
| 摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-12页 |
| 第一章 引言 | 第12-24页 |
| ·光学传感器简介 | 第13-16页 |
| ·本文目标 | 第16-17页 |
| ·本文的章节安排 | 第17-18页 |
| ·本文主要创新点 | 第18-20页 |
| 参考文献 | 第20-24页 |
| 第二章 波导和环形谐振腔的基本理论和分析 | 第24-54页 |
| ·模拟方法 | 第25-31页 |
| ·FD方法 | 第25-28页 |
| ·BPM方法 | 第28-29页 |
| ·FDTD方法 | 第29-31页 |
| ·灵敏度分析 | 第31-35页 |
| ·环形谐振腔的工作原理和分析工具 | 第35-40页 |
| ·基本结构 | 第35-37页 |
| ·共振方程 | 第37页 |
| ·半径-波长色散方程 | 第37-38页 |
| ·自由光谱范围 | 第38-39页 |
| ·精细度和品质因子 | 第39-40页 |
| ·环形谐振腔的解析方法 | 第40-45页 |
| ·振幅耦合方程 | 第40-41页 |
| ·单环分析 | 第41-42页 |
| ·传递函数 | 第42-45页 |
| ·环形谐振腔的性能分析 | 第45-50页 |
| ·耦合系数的影响 | 第45-47页 |
| ·传输损耗的影响 | 第47-48页 |
| ·腔长的影响 | 第48-50页 |
| ·基于微环谐振腔的传感器 | 第50-52页 |
| 参考文献 | 第52-54页 |
| 第三章 基于级联的激光器和环形谐振腔的传感器 | 第54-80页 |
| ·器件的基本结构和工作原理 | 第56-60页 |
| ·基本结构 | 第56-57页 |
| ·工作原理和透射谱分析 | 第57-60页 |
| ·设计和模拟 | 第60-64页 |
| ·设计参数 | 第60-61页 |
| ·自由光谱范围差的影响 | 第61-63页 |
| ·腔品质因子的影响 | 第63-64页 |
| ·实验结果和讨论 | 第64-76页 |
| ·FP激光器的制作和测量 | 第64-68页 |
| ·环形腔的制作和测量 | 第68-71页 |
| ·级联传感器的测试和分析 | 第71-76页 |
| ·结论 | 第76-77页 |
| 参考文献 | 第77-80页 |
| 第四章 波导传感器中温度补偿的设计和分析 | 第80-100页 |
| ·基本结构和工作原理 | 第81-87页 |
| ·基本结构 | 第82页 |
| ·器件的工作原理 | 第82-87页 |
| ·模拟结果和讨论 | 第87-92页 |
| ·元件描述 | 第87-88页 |
| ·模拟分析 | 第88-92页 |
| ·波导损耗的影响 | 第92-96页 |
| ·品质因子的分析 | 第93-94页 |
| ·透射谱能量的分析 | 第94-96页 |
| ·结论 | 第96-98页 |
| 参考文献 | 第98-100页 |
| 第五章 AlGaAs材料的氧化物与非氧化物界面的实验研究 | 第100-138页 |
| ·AlGaAs材料的湿法氧化 | 第101-110页 |
| ·基本原理 | 第102-103页 |
| ·湿法氧化导致的体积变化 | 第103-104页 |
| ·Ga原子在氧化的各向同性和稳定性中的影响 | 第104-105页 |
| ·Al含量对于氧化速率的影响 | 第105-106页 |
| ·被氧化层的厚度的影响 | 第106-107页 |
| ·氧化温度和时间的影响 | 第107-109页 |
| ·层状结构的影响 | 第109-110页 |
| ·氧化样品界面的研究 | 第110-131页 |
| ·湿法氧化装置 | 第110-112页 |
| ·椭圆偏光法测量氧化物折射率 | 第112-114页 |
| ·样品的制作和测量 | 第114-131页 |
| ·氢气等离子体处理的影响 | 第131-134页 |
| ·样品的制备 | 第131-132页 |
| ·实验结果和分析 | 第132-134页 |
| ·结论 | 第134-135页 |
| 参考文献 | 第135-138页 |
| 第六章 基于GaAs/AlGaAs材料的波导和激光器的设计、制作和测量 | 第138-162页 |
| ·基于GaAs/AlGaAs材料的光波导 | 第139-153页 |
| ·设计和制作 | 第139-141页 |
| ·传输损耗测量 | 第141-150页 |
| ·对于损耗测量的讨论 | 第150-153页 |
| ·基于GaAs/GaAsP/AlGaAs材料的TM激光器的制作的测量 | 第153-159页 |
| ·激光器的制作 | 第154-156页 |
| ·激光器的测试 | 第156-159页 |
| ·结论 | 第159-161页 |
| 参考文献 | 第161-162页 |
| 第七章 结论 | 第162-166页 |
| 个人简介 | 第166页 |
| 博士在读期间发表的论文和专利 | 第166页 |
