摘要 | 第1-5页 |
ABSTRACT | 第5-9页 |
第一章 概述 | 第9-19页 |
·超导发展历程 | 第9-10页 |
·高温超导技术的应用 | 第10-12页 |
·高温超导技术在弱电方面的应用 | 第11页 |
·高温超导技术在强电方面的应用 | 第11-12页 |
·YBCO涂层导体、晶体结构特征及薄膜生长技术 | 第12-17页 |
·YBCO涂层导体 | 第12-14页 |
·YBCO晶体结构 | 第14-15页 |
·YBCO薄膜生长技术 | 第15-17页 |
·YBCO高温超导技术发展现状及趋势 | 第17-18页 |
·研究背景和研究内容 | 第18-19页 |
第二章 MOCVD系统设计及样品的表征 | 第19-30页 |
·MOCVD原理及工艺介绍 | 第19-20页 |
·MOCVD系统简介 | 第20-23页 |
·电阻丝式反应腔系统 | 第21-22页 |
·光辅助式反应腔系统 | 第22-23页 |
·自制MOCVD系统的改进 | 第23-25页 |
·MOCVD薄膜样品特征的表征 | 第25-30页 |
·晶体质量的X射线衍射表征 | 第25-27页 |
·扫描电子显微镜(SEM) | 第27页 |
·临界电流密度J_c的侧量 | 第27-28页 |
·X射线能量色散谱仪(EDS)分析 | 第28-30页 |
第三章 金属有机源及气氛对YBCO薄膜性能的影响 | 第30-38页 |
·金属有机源的热学特性 | 第30-32页 |
·对金属Ba源的处理 | 第32-34页 |
·金属Ba源对YBCO薄膜的影响 | 第34-36页 |
·O_2与N_2O混合作为氧化气体 | 第36-37页 |
·本章小节 | 第37-38页 |
第四章 MOCVD法在Ni-W上制备YBCO的研究 | 第38-53页 |
·电阻丝式加热方式下制备YBCO的参数优化 | 第38-43页 |
·光辅助式加热方式下制备YBCO的参数优化 | 第43-45页 |
·两种加热方式下的对比和最优化下的微观分析 | 第45-48页 |
·用MOCVD法制备较长带材的研究 | 第48-52页 |
·本章小结 | 第52-53页 |
第五章 结论 | 第53-54页 |
致谢 | 第54-55页 |
参考文献 | 第55-60页 |
攻读硕士期间取得的研究成果 | 第60页 |