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MOCVD法制备YBCO带材超导层工艺研究

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-9页
第一章 概述第9-19页
   ·超导发展历程第9-10页
   ·高温超导技术的应用第10-12页
     ·高温超导技术在弱电方面的应用第11页
     ·高温超导技术在强电方面的应用第11-12页
   ·YBCO涂层导体、晶体结构特征及薄膜生长技术第12-17页
     ·YBCO涂层导体第12-14页
     ·YBCO晶体结构第14-15页
     ·YBCO薄膜生长技术第15-17页
   ·YBCO高温超导技术发展现状及趋势第17-18页
   ·研究背景和研究内容第18-19页
第二章 MOCVD系统设计及样品的表征第19-30页
   ·MOCVD原理及工艺介绍第19-20页
   ·MOCVD系统简介第20-23页
     ·电阻丝式反应腔系统第21-22页
     ·光辅助式反应腔系统第22-23页
   ·自制MOCVD系统的改进第23-25页
   ·MOCVD薄膜样品特征的表征第25-30页
     ·晶体质量的X射线衍射表征第25-27页
     ·扫描电子显微镜(SEM)第27页
     ·临界电流密度J_c的侧量第27-28页
     ·X射线能量色散谱仪(EDS)分析第28-30页
第三章 金属有机源及气氛对YBCO薄膜性能的影响第30-38页
   ·金属有机源的热学特性第30-32页
   ·对金属Ba源的处理第32-34页
   ·金属Ba源对YBCO薄膜的影响第34-36页
   ·O_2与N_2O混合作为氧化气体第36-37页
   ·本章小节第37-38页
第四章 MOCVD法在Ni-W上制备YBCO的研究第38-53页
   ·电阻丝式加热方式下制备YBCO的参数优化第38-43页
   ·光辅助式加热方式下制备YBCO的参数优化第43-45页
   ·两种加热方式下的对比和最优化下的微观分析第45-48页
   ·用MOCVD法制备较长带材的研究第48-52页
   ·本章小结第52-53页
第五章 结论第53-54页
致谢第54-55页
参考文献第55-60页
攻读硕士期间取得的研究成果第60页

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