二氧化锆衍射光栅的制备
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 1 引言 | 第8-18页 |
| ·衍射光学的兴起与发展 | 第8页 |
| ·衍射光栅的发展和应用前景 | 第8-12页 |
| ·衍射光栅的发展 | 第8-9页 |
| ·衍射光栅的应用 | 第9-12页 |
| ·衍射光栅的微细加工技术 | 第12-15页 |
| ·传统的微细加工方法 | 第12页 |
| ·激光微细加工 | 第12-14页 |
| ·其他的微细加工方法 | 第14-15页 |
| ·论文的研究目的和意义 | 第15-16页 |
| ·论文主要研究内容 | 第16页 |
| ·本课题的创新点 | 第16-18页 |
| 2 实验方法及设备介绍 | 第18-22页 |
| ·实验技术路线 | 第18页 |
| ·实验设备和测试仪器 | 第18-20页 |
| ·溶胶及其薄膜的制备设备 | 第19页 |
| ·微细加工设备 | 第19页 |
| ·性能测试仪器 | 第19-20页 |
| ·实验所需要的主要试剂 | 第20-22页 |
| 3 感光性薄膜的制备及其性能研究 | 第22-26页 |
| ·溶胶的配制和感光性凝胶薄膜的制备 | 第22页 |
| ·感光性能研究 | 第22-25页 |
| ·紫外光谱分析 | 第23页 |
| ·红外光谱分析 | 第23-25页 |
| ·结构性能测试分析 | 第25页 |
| ·小结 | 第25-26页 |
| 4 一维光栅的制备及其性能研究 | 第26-38页 |
| ·激光干涉法制备一维光栅 | 第26-28页 |
| ·光栅的性能分析 | 第28-33页 |
| ·表面形貌分析 | 第28-31页 |
| ·衍射特性分析 | 第31-33页 |
| ·光栅的化学刻蚀 | 第33-36页 |
| ·刻蚀剂的选择 | 第33-34页 |
| ·刻蚀过程 | 第34-35页 |
| ·结果分析 | 第35-36页 |
| ·小结 | 第36-38页 |
| 5 二维光栅的制备及其表面形貌分析 | 第38-52页 |
| ·紫外掩膜法制备微光学点阵 | 第38-39页 |
| ·制备方法 | 第38-39页 |
| ·表面形貌分析 | 第39页 |
| ·双光束双曝光制备二维光栅 | 第39-46页 |
| ·制备方法 | 第39-41页 |
| ·表面形貌分析 | 第41-46页 |
| ·四光束干涉制备布拉格光栅 | 第46-50页 |
| ·制备方法 | 第46-48页 |
| ·表面形貌分析 | 第48-50页 |
| ·小结 | 第50-52页 |
| 6 二维光栅的衍射特性分析 | 第52-60页 |
| ·二维点阵的性能测试分析 | 第52-54页 |
| ·实验过程 | 第52-53页 |
| ·结果分析 | 第53-54页 |
| ·二维布拉格光栅的衍射性能测试分析 | 第54-58页 |
| ·小结 | 第58-60页 |
| 7 结论 | 第60-62页 |
| 致谢 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-72页 |
| 作者在硕士期间撰写和发表的论文 | 第72页 |
