金刚石线锯切割SiC的加工质量研究
| 中文摘要 | 第1-10页 |
| ABSTRACT | 第10-12页 |
| 第1章 绪论 | 第12-24页 |
| ·本课题研究目的与意义 | 第12-13页 |
| ·切片技术研究现状 | 第13-15页 |
| ·金刚石内圆切片技术 | 第13-14页 |
| ·游离磨料线锯切片技术 | 第14页 |
| ·固结磨料线锯切片技术 | 第14-15页 |
| ·硬脆材料锯切去除机理和加工质量研究现状 | 第15-21页 |
| ·脆性材料去除机理研究 | 第16-17页 |
| ·磨粒载荷研究现状 | 第17-18页 |
| ·锯切加工质量研究现状 | 第18-21页 |
| ·锯切粗糙度研究现状 | 第19-20页 |
| ·锯切裂纹产生研究现状 | 第20-21页 |
| ·锯切SiC晶体加工质量研究现状 | 第21页 |
| ·本课题研究的主要内容 | 第21-24页 |
| 第2章 金刚石线锯切割SiC晶体试验设计 | 第24-32页 |
| ·线锯切割试验 | 第24-26页 |
| ·环形线锯切割硬脆材料的试验设备 | 第24-26页 |
| ·锯切工艺参数 | 第26页 |
| ·试验数据采集 | 第26-29页 |
| ·材料去除和损伤与试验参数的关系 | 第26-27页 |
| ·数据采集分析系统 | 第27-29页 |
| ·表面质量测量系统 | 第29页 |
| ·表面粗糙度测量 | 第29页 |
| ·表面微观形貌及亚表面损伤测量 | 第29页 |
| ·本章小结 | 第29-32页 |
| 第3章 SiC晶体锯切加工质量分析 | 第32-42页 |
| ·线锯切割SiC表面微观形貌分析 | 第32-34页 |
| ·表面微观形貌分析试验参数选择 | 第32-33页 |
| ·微观形貌分析 | 第33-34页 |
| ·线锯切割SiC表面粗糙度比较 | 第34-37页 |
| ·表面粗糙度分析试验参数选择 | 第34-35页 |
| ·表面粗糙度分析 | 第35-37页 |
| ·表面粗糙度与锯丝速度的关系 | 第35-36页 |
| ·表面粗糙度与的恒进给力关系 | 第36-37页 |
| ·线锯切割SiC表面微裂纹 | 第37-39页 |
| ·表面微裂纹分析试验参数选择 | 第37页 |
| ·表面裂纹分析 | 第37-39页 |
| ·线锯切割SiC晶体的锯切效率 | 第39-40页 |
| ·本章小结 | 第40-42页 |
| 第4章 锯切力分析及锯切载荷模型建立 | 第42-54页 |
| ·线锯切割SiC晶体锯切力分析 | 第42-46页 |
| ·锯丝速度对SiC锯切力的影响 | 第43-44页 |
| ·恒进给压力大小对SiC锯切力的影响 | 第44-45页 |
| ·不同材料的锯切加工难易程度 | 第45-46页 |
| ·锯切应力模型分析 | 第46-49页 |
| ·线锯单颗磨粒应力场 | 第47-48页 |
| ·锯切作用磨粒模型建立 | 第48-49页 |
| ·单颗磨粒锯切力与总锯切力的关系 | 第49-51页 |
| ·本章小结 | 第51-54页 |
| 第5章 SiC晶体锯切表面裂纹研究 | 第54-72页 |
| ·SiC材料特征和内部裂纹缺陷 | 第54-55页 |
| ·硬脆材料加工裂纹产生 | 第55-59页 |
| ·机械加工中裂纹产生 | 第56-57页 |
| ·裂纹系统的应力强度因子 | 第57-58页 |
| ·材料在单颗磨粒作用下的应力状态分析 | 第58-59页 |
| ·裂纹产生扩展的有限元分析方法 | 第59-63页 |
| ·裂纹扩展的判定 | 第59-62页 |
| ·有限元分析裂纹扩展 | 第62-63页 |
| ·锯切SiC表面裂纹长度计算分析 | 第63-69页 |
| ·中位裂纹长度分析 | 第64-67页 |
| ·横向裂纹深度和表面粗糙度分析 | 第67-69页 |
| ·锯切SiC表面裂纹的降低措施 | 第69页 |
| ·本章小结 | 第69-72页 |
| 总结与展望 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-78页 |
| 攻读硕士期间发表的学术论文 | 第78-79页 |
| 致谢 | 第79-80页 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 | 第80页 |
