| 提要 | 第1-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-24页 |
| ·研究背景及意义 | 第9-12页 |
| ·电流变抛光技术研究现状 | 第12-21页 |
| ·电流变抛光技术的抛光对象 | 第13-15页 |
| ·电流变抛光技术抛光工艺的研究现状 | 第15-16页 |
| ·电流变抛光设备的研究现状 | 第16-19页 |
| ·电流变抛光工具的研究现状 | 第19-21页 |
| ·目前存在问题 | 第21-22页 |
| ·本文研究内容 | 第22-24页 |
| 第二章 五轴电流变抛光设备开发 | 第24-39页 |
| ·五轴电流变抛光设备硬件开发 | 第24-28页 |
| ·X轴，Y轴，Z轴的构成 | 第26-28页 |
| ·B轴和C轴的构成 | 第28页 |
| ·五轴电流变抛光设备运动学方程 | 第28-31页 |
| ·刀位点数据的获得 | 第31-33页 |
| ·刀位点数据的后置处理 | 第33-34页 |
| ·用户程序设计 | 第34-35页 |
| ·运动学模型的实验验证 | 第35-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第三章 电流变抛光设备控制系统研究 | 第39-56页 |
| ·控制系统硬件结构 | 第39-41页 |
| ·双模复合控制算法 | 第41-43页 |
| ·误差补偿 | 第43-48页 |
| ·系统误差分析 | 第43-44页 |
| ·误差检测 | 第44-46页 |
| ·热变形误差的计算 | 第46-47页 |
| ·建立误差补偿表 | 第47-48页 |
| ·模糊自整定PID控制模型的建立 | 第48-51页 |
| ·控制系统的实验验证 | 第51-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第四章 新型电流变抛光工具开发 | 第56-83页 |
| ·集成电极工具结构 | 第56-58页 |
| ·平行板集成电极工具系统的结构 | 第56-58页 |
| ·圆环状集成电极工具系统的结构 | 第58页 |
| ·集成电极工具电场分析 | 第58-75页 |
| ·平行板集成电极工具电场计算 | 第59-70页 |
| ·圆环状集成电极工具电场计算 | 第70-75页 |
| ·集成电极工具的电场强度仿真及电流变效应静态实验 | 第75-78页 |
| ·平行板集成电极工具的电场强度分析 | 第75-77页 |
| ·圆环集成电极工具的电场强度分析 | 第77-78页 |
| ·集成电极工具抛光区域分析 | 第78-82页 |
| ·本章小结 | 第82-83页 |
| 第五章 基于集成电极工具的材料去除研究 | 第83-98页 |
| ·电流变抛光去除机理 | 第83-84页 |
| ·电流变抛光材料去除模型的建立 | 第84-87页 |
| ·电流变抛光材料去除实验 | 第87-95页 |
| ·实验方法 | 第87-90页 |
| ·实验条件 | 第90-91页 |
| ·材料去除实验 | 第91-95页 |
| ·单因素去除实验 | 第95-97页 |
| ·去除率影响因素分析 | 第95-96页 |
| ·单因素实验 | 第96-97页 |
| ·本章小结 | 第97-98页 |
| 第六章 集成电极工具电流变抛光实验研究 | 第98-114页 |
| ·电流变抛光影响因素的参数优化实验 | 第98-100页 |
| ·电流变抛光影响因素的单因素实验 | 第100-105页 |
| ·电压的单因素实验 | 第101-102页 |
| ·主轴转速的单因素实验 | 第102页 |
| ·抛光时间的单因素实验 | 第102-103页 |
| ·磨料浓度的单因素实验 | 第103-105页 |
| ·不同材料工件的抛光实验 | 第105-106页 |
| ·光学玻璃工件的电流变抛光实验 | 第105-106页 |
| ·硬质合金工件的电流变抛光实验 | 第106页 |
| ·不同面型工件的电流变抛光实验 | 第106-111页 |
| ·平面工件的电流变抛光实验 | 第106-108页 |
| ·凸面工件的电流变抛光实验 | 第108-110页 |
| ·凹面工件的电流变抛光实验 | 第110-111页 |
| ·不同种类磨料的电流变抛光实验 | 第111-112页 |
| ·本章小结 | 第112-114页 |
| 第七章 结论 | 第114-116页 |
| 参考文献 | 第116-123页 |
| 致谢 | 第123-124页 |
| 作者在攻读博士学位期间发表的学术论文及参与的主要科研项目 | 第124-125页 |
| 摘要 | 第125-128页 |
| Abstract | 第128-130页 |