微型ICP激发源微电路组件的参数优化研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 第1章 引言 | 第9-15页 |
| ·研究背景 | 第9-10页 |
| ·微型ICP激发源参数优化研究的目的及意义 | 第10-11页 |
| ·微型ICP激发源的研究现状和发展趋势 | 第11-13页 |
| ·微型ICP激发源的应用 | 第13-14页 |
| ·本论文的研究内容 | 第14-15页 |
| 第2章 原子发射光谱激发源综述 | 第15-36页 |
| ·火焰 | 第15-16页 |
| ·电弧激发源 | 第16-21页 |
| ·直流电弧激发源 | 第16-19页 |
| ·交流电弧激发源 | 第19-21页 |
| ·火花放电激发源 | 第21-23页 |
| ·辉光放电等离子体激发源 | 第23-25页 |
| ·激光显微激发源 | 第25-26页 |
| ·电感耦合等离子体(ICP)激发源 | 第26-28页 |
| ·直流等离子体喷焰 | 第28-31页 |
| ·微波等离子体激发源 | 第31-34页 |
| ·电容耦合微波等离子体激发源 | 第31-32页 |
| ·微波感生等离子体激发源 | 第32-33页 |
| ·微波等离子体炬 | 第33-34页 |
| ·本章小结 | 第34-36页 |
| 第3章 微型ICP激发源微电路组件的实验研究 | 第36-66页 |
| ·微型ICP激发源的原理及特点 | 第36-37页 |
| ·实验装置 | 第37-46页 |
| ·射频驱动匹配网络 | 第37-39页 |
| ·平面螺旋线圈的设计与计算 | 第39-40页 |
| ·交指电容的设计与计算 | 第40-43页 |
| ·平面螺旋线圈和交指电容的加工 | 第43页 |
| ·微型ICP激发源放电室的设计与加工 | 第43-46页 |
| ·实验系统设计 | 第46-47页 |
| ·实验方法 | 第47-48页 |
| ·实验结果及结论 | 第48-64页 |
| ·平面螺旋线圈匝数与启燃入射功率关系 | 第49-52页 |
| ·平面螺旋线圈匝间距与启燃入射功率关系 | 第52-55页 |
| ·平面螺旋线圈外径与启燃入射功率关系 | 第55-58页 |
| ·交指电容条数组合与启燃入射功率关系 | 第58-61页 |
| ·交指电容线宽和间距与启燃入射功率的关系 | 第61-64页 |
| ·实验结果分析 | 第64-66页 |
| 第4章 结论与展望 | 第66-68页 |
| ·参数优化结论 | 第66-67页 |
| ·有待进一步研究的工作 | 第67页 |
| ·展望 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 研究生期间发表的论文 | 第73-74页 |
