基于AFM与干涉光谱的薄膜厚度测量系统
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-22页 |
| ·薄膜厚度测量技术概述 | 第9-13页 |
| ·传统的膜厚测量方法 | 第9-10页 |
| ·光学显微镜与扫描电子显微镜膜厚测量方法 | 第10-12页 |
| ·干涉光谱膜厚测量方法 | 第12-13页 |
| ·原子力显微镜(AFM)技术的研究应用现状 | 第13-17页 |
| ·本文的主要内容及研究成果 | 第17-22页 |
| 第二章 基于AFM与干涉光谱的薄膜厚度测量方法 | 第22-32页 |
| ·AFM的工作原理 | 第22-27页 |
| ·原子力作用机制 | 第22-23页 |
| ·AFM的成像原理 | 第23-27页 |
| ·薄膜厚度的干涉光谱法测量原理 | 第27-28页 |
| ·基于AFM与干涉光谱的膜厚测量方法 | 第28-30页 |
| ·均匀薄膜厚度的测量方法 | 第28-29页 |
| ·多孔薄膜厚度的测量方法 | 第29-30页 |
| ·小结 | 第30-32页 |
| 第三章 基于AFM与干涉光谱的膜厚测量系统研制 | 第32-57页 |
| ·AFM系统 | 第32-43页 |
| ·AFM探头部分设计 | 第33-36页 |
| ·粗调与微调进给机构 | 第36页 |
| ·光电检测系统及前置放大电路 | 第36-39页 |
| ·扫描与反馈控制电路系统 | 第39-42页 |
| ·计算机A/D&D/A接口 | 第42-43页 |
| ·光纤光谱测量系统设计 | 第43-47页 |
| ·光纤光谱测量系统及工作原理 | 第43-46页 |
| ·光纤光谱测量头的安装与定位 | 第46-47页 |
| ·薄膜厚度测量系统 | 第47-48页 |
| ·膜厚测量系统的软件设计 | 第48-54页 |
| ·AFM的扫描及图像处理软件 | 第50-53页 |
| ·多孔薄膜有效折射率的测量 | 第53页 |
| ·光谱的获取及薄膜厚度测量软件 | 第53-54页 |
| ·小结 | 第54-57页 |
| 第四章 薄膜厚度测量系统的误差分析及性能优化 | 第57-61页 |
| ·孔隙率误差分析及优化 | 第57-59页 |
| ·干涉光谱波数差误差及优化 | 第59页 |
| ·其他因素的影响 | 第59-60页 |
| ·小结 | 第60-61页 |
| 第五章 薄膜厚度测量的实验技术研究 | 第61-74页 |
| ·标样的测量实验 | 第61-64页 |
| ·ITO薄膜厚度的测量 | 第64-67页 |
| ·ITO薄膜表面的AFM图像 | 第64-66页 |
| ·干涉光谱与膜厚计算 | 第66-67页 |
| ·多孔氧化铝薄膜厚度测量 | 第67-72页 |
| ·在大气中的测量 | 第68-70页 |
| ·在液体中的测量 | 第70-72页 |
| ·小结 | 第72-74页 |
| 第六章 总结与展望 | 第74-77页 |
| ·研究工作总结 | 第74-75页 |
| ·展望 | 第75-77页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第77-78页 |
| 致谢 | 第78页 |
