| 第一章 前言 | 第1-28页 |
| §1．1 椭圆偏振测量术的发展及应用 | 第8-13页 |
| §1．1．1 国外椭圆偏振测量术的发展 | 第9-10页 |
| §1．1．2 我国椭圆偏振测量术的发展 | 第10-11页 |
| §1．1．3 椭圆偏振测量术的应用 | 第11-13页 |
| §1．2 椭偏数据处理的发展 | 第13-18页 |
| §1．2．1 解析反演求解 | 第13-15页 |
| §1．2．2 数值反演求解 | 第15-18页 |
| §1．3 研究意义及本论文的主要内容 | 第18-20页 |
| 参考文献 | 第20-28页 |
| 第二章 单波长消光椭偏仪的测量原理 | 第28-36页 |
| §2．1 光路图分析 | 第29-30页 |
| §2．2 椭偏方程的推导 | 第30-32页 |
| §2．3 椭偏参数ψ和△的测量 | 第32-34页 |
| §2．4 小结 | 第34-35页 |
| 参考文献 | 第35-36页 |
| 第三章 椭偏方程求解的复杂性研究和测量的误差分析 | 第36-64页 |
| §3．1 椭偏方程求解薄膜参数的复杂性研究 | 第36-53页 |
| §3．1．1 薄膜结构的模拟 | 第37-38页 |
| §3．1．2 求解评价函数最小值问题的复杂性的研究 | 第38-53页 |
| §3．1．2．1 不考虑误差时评价函数最小值复杂性的研究 | 第38-44页 |
| §3．1．2．2 有测量误差时评价函数最小值复杂性的研究 | 第44-52页 |
| §3．1．2．3 评价函数X~2随n、d作二维变化的复杂性的研究 | 第52-53页 |
| §3．2 厚度对椭偏测量灵敏度的影响 | 第53-57页 |
| §3．2．1 反射系数比随折射率和厚度改变的研究 | 第53-56页 |
| §3．2．2 椭偏参数对厚度的灵敏度的研究 | 第56-57页 |
| §3．3 四区域平均法消除测量误差的研究 | 第57-61页 |
| §3．4 小结 | 第61页 |
| 参考文献 | 第61-64页 |
| 第四章 模拟退火算法处理椭偏测联数据的研究 | 第64-79页 |
| §4．1 优化算法介绍 | 第64-66页 |
| §4．1．1 遗传算法 | 第64-65页 |
| §4．1．2 人工神经网络算法 | 第65页 |
| §4．1．3 模拟退火算法 | 第65-66页 |
| §4，1．4 单纯形法 | 第66页 |
| §4．2 模拟退火算法处理椭偏测量数据的研究 | 第66-70页 |
| §4．2．1 模拟退火算法处理椭偏测量数据的原理 | 第67-69页 |
| §4．2．2 模拟退火算法处理椭偏测量数据的模拟计算 | 第69-70页 |
| §4．3 处理椭偏数据时模拟退火算法参数的选择 | 第70-75页 |
| §4．4 小结 | 第75页 |
| 参考文献 | 第75-79页 |
| 第五章 薄膜样品参数的测量 | 第79-86页 |
| §5．1 薄膜样品 | 第79页 |
| §5．2 薄膜样品的测量 | 第79-85页 |
| §5．2．1 标准样品的测量 | 第81-82页 |
| §5．2．2 自制样品的测量 | 第82-85页 |
| §5．3 小结 | 第85页 |
| 参考文献 | 第85-86页 |
| 第六章 总结 | 第86-87页 |
| 致谢 | 第87-88页 |
| 附录 | 第88页 |
