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薄膜沉积扩散形成的数值研究

摘要第1-4页
Abstract第4-8页
第1章 绪论第8-20页
   ·引言第8-10页
   ·研究历史与现状第10-19页
     ·不同形状基体的薄膜流动研究进展第10-12页
     ·薄膜缺陷的研究进展第12-16页
     ·缺陷的防治方法的研究进展第16-19页
   ·本文的研究内容第19-20页
第2章 数值研究方法第20-32页
   ·引言第20-21页
   ·有限元法第21-22页
   ·有限差分法第22页
   ·有限体积法第22-23页
   ·物理模型介绍第23-30页
     ·自由表面模型第23-29页
     ·表面张力模型第29页
     ·黏性模型第29-30页
   ·本章小结第30-32页
第3章 涂覆参数设置对平整基面薄膜形成质量影响的数值分析第32-50页
   ·引言第32-34页
   ·基体旋转速度对薄膜形成质量的影响第34-36页
   ·涂覆溶液流量对薄膜形成质量的影响第36-39页
   ·涂覆溶液性质对薄膜形成质量的影响第39-48页
     ·表面张力系数的影响第39-41页
     ·黏度系数的影响第41-43页
     ·接触角的影响第43-48页
   ·本章小结第48-50页
第4章 涂覆参数和表面形态对非平整基面薄膜形成质量影响的数值分析第50-64页
   ·引言第50页
   ·涂覆参数对非平整基面上薄膜形成质量的影响第50-56页
     ·溶液流量对薄膜形成质量的影响第51-53页
     ·表面张力系数对薄膜形成质量的影响第53-54页
     ·溶液黏度对薄膜形成质量的影响第54-56页
   ·不同表面形态上的薄膜形成质量分析第56-62页
     ·具有单个凸起的基面上薄膜形成质量分析第57-58页
     ·具有多个连续凸起的基面上薄膜形成质量分析第58-59页
     ·具有多个连续凹陷的基面上薄膜形成质量分析第59-62页
   ·本章小结第62-64页
第5章 喷涂中溶液在不同类型基面上扩展的数值模拟第64-84页
   ·引言第64-65页
   ·液滴与固体基面相互撞击的数值研究第65-66页
   ·液滴连续滴落的数值研究第66-76页
     ·流量变化对连续液滴滴落过程的影响第67-73页
     ·压力变化对连续液滴滴落过程的影响第73-75页
     ·温度变化对连续液滴滴落过程的影响第75-76页
   ·连续液滴在基面上相互碰撞的研究第76-79页
     ·计算模型第77页
     ·计算结果与分析第77-79页
   ·连续液滴在薄膜上相互碰撞的研究第79-81页
     ·计算模型第79-80页
     ·计算结果与分析第80-81页
   ·本章小结第81-84页
结论与展望第84-86页
参考文献第86-92页
攻读硕士学位期间发表论文情况第92-93页
致谢第93页

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