形状记忆合金驱动微泵的研究
| 中文摘要 | 第1-3页 |
| Abstract | 第3-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-18页 |
| ·研究背景 | 第8-10页 |
| ·形状记忆合金的发展历史及应用 | 第8-9页 |
| ·微型泵 | 第9-10页 |
| ·国内外同类课题研究现状 | 第10-15页 |
| ·压电式微泵 | 第10-11页 |
| ·热驱动式微泵 | 第11-12页 |
| ·静电驱动式微泵 | 第12页 |
| ·电磁驱动式微泵 | 第12-13页 |
| ·形状记忆合金驱动式微泵 | 第13-15页 |
| ·微泵的应用前景及SMA 驱动存在问题、发展趋势 | 第15-16页 |
| ·微泵应用前景 | 第15页 |
| ·SMA 驱动存在问题、发展趋势 | 第15-16页 |
| ·本课题的目的和主要工作 | 第16-17页 |
| ·目的 | 第16页 |
| ·主要工作 | 第16-17页 |
| ·小结 | 第17-18页 |
| 第2章 合金薄膜的理论分析 | 第18-26页 |
| ·形状记忆原理 | 第18-20页 |
| ·热弹性马氏体相变 | 第18-19页 |
| ·形状记忆原理 | 第19-20页 |
| ·形状记忆合金特性与分析 | 第20-22页 |
| ·形状记忆效应 | 第20页 |
| ·超弹性 | 第20-21页 |
| ·机理 | 第21-22页 |
| ·影响形状记忆合金薄膜性能的因素 | 第22-25页 |
| ·化学成分对形状记忆合金薄膜性能的影响 | 第22-23页 |
| ·溅射工艺对合金薄膜性能的影响 | 第23-25页 |
| ·小结 | 第25-26页 |
| 第3章 微泵的结构设计与工作原理 | 第26-33页 |
| ·形状记忆合金微泵的基本结构 | 第26-27页 |
| ·形状记忆合金驱动器的工作原理 | 第27页 |
| ·泵腔体积的变化 | 第27-28页 |
| ·收缩/扩散管的流动特性分析 | 第28-31页 |
| ·扩散管内压力分布 | 第28-30页 |
| ·收缩管内压力分布 | 第30-31页 |
| ·收缩/扩散管的工作原理 | 第31-32页 |
| ·小结 | 第32-33页 |
| 第4章 微泵的工艺模拟研制 | 第33-47页 |
| ·图形与非图形化合金膜驱动能力的ANSYS 分析 | 第33-35页 |
| ·版图的设计 | 第35-36页 |
| ·双螺旋合金电阻条 | 第35页 |
| ·驱动膜 | 第35-36页 |
| ·收缩/扩散管 | 第36页 |
| ·计算机模拟 | 第36-41页 |
| ·利用 AnisE 验证工艺方案的可行性 | 第36-39页 |
| ·利用 IntelliFab 模拟工艺流程 | 第39-41页 |
| ·主要工艺介绍 | 第41-45页 |
| ·氧化 | 第41-43页 |
| ·光刻 | 第43-44页 |
| ·硅的各向异性腐蚀 | 第44-45页 |
| ·具体的工艺步骤 | 第45-46页 |
| ·驱动器的工艺 | 第45-46页 |
| ·收缩扩散层的工艺 | 第46页 |
| ·小结 | 第46-47页 |
| 第5章 实验过程及结果讨论 | 第47-54页 |
| ·形状记忆合金薄膜的溅射工艺 | 第47-48页 |
| ·真空磁控溅射的原理 | 第47页 |
| ·溅射参数 | 第47-48页 |
| ·不同组分合金的 X-射线能谱图 | 第48-50页 |
| ·晶化处理 | 第50-51页 |
| ·合金薄膜的断面与表面形态 | 第51-52页 |
| ·DSC 分析 | 第52页 |
| ·小结 | 第52-54页 |
| 结论 | 第54-55页 |
| 创新之处 | 第55-56页 |
| 展望 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
