| 中文摘要 | 第1-5页 |
| 英文摘要 | 第5-10页 |
| 1 绪论 | 第10-28页 |
| ·课题研究的背景和意义 | 第10-11页 |
| ·光纤F-P 传感器的基本原理 | 第11-13页 |
| ·光纤F-P 传感器的分类、制作及应用 | 第13-17页 |
| ·本征型光纤Fabry-Perot 干涉仪（IFPI）传感器 | 第13-15页 |
| ·非本征型光纤Fabry-Perot 干涉仪（EFPI）传感器 | 第15-16页 |
| ·微小型非本征型光纤Fabry-Perot 干涉仪（MEFPI） | 第16-17页 |
| ·F-P 传感器的复用技术 | 第17-21页 |
| ·时分复用 | 第18页 |
| ·波分复用 | 第18-20页 |
| ·相干复用 | 第20-21页 |
| ·空分复用 | 第21页 |
| ·频分复用 | 第21页 |
| ·光纤Fabry-Perot 传感器的应用 | 第21-26页 |
| ·Fabry-Perot 温度传感器 | 第21-22页 |
| ·Fabry-Perot 应变传感器 | 第22-24页 |
| ·Fabry-Perot 压力传感器 | 第24-25页 |
| ·其它类型的FP 传感器 | 第25-26页 |
| ·本课题研究的内容 | 第26-28页 |
| 2 微型光纤 FP 干涉传感器 | 第28-51页 |
| ·光刻技术 | 第29-35页 |
| ·光学曝光技术 | 第29-34页 |
| ·刻蚀技术 | 第34-35页 |
| ·聚焦离子束微细加工技术 | 第35-37页 |
| ·准分子激光加工技术 | 第37-39页 |
| ·飞秒激光加工技术 | 第39-44页 |
| ·飞秒激光加工的机理和特点 | 第40-42页 |
| ·飞秒激光加工的应用 | 第42-44页 |
| ·基于飞秒激光加工的微型光纤法珀传感器 | 第44-50页 |
| ·飞秒加工系统 | 第45-46页 |
| ·微型光纤法珀传感器的设计及加工 | 第46-47页 |
| ·影响飞秒激光加工的因素以及工艺改进 | 第47-50页 |
| ·小结 | 第50-51页 |
| 3 MEFPI 传感器基础特性研究 | 第51-64页 |
| ·MEFPI 的性能优化 | 第51-56页 |
| ·干涉条纹质量的理论分析 | 第51-54页 |
| ·MEFPI 腐蚀实验 | 第54-56页 |
| ·MEFPI 传感器的应变特性研究 | 第56-58页 |
| ·MEFPI 传感器的温度特性研究 | 第58-62页 |
| ·MEFPI 传感器温度特性实验 | 第58-60页 |
| ·MEFPI 传感器的温度变化模型 | 第60-62页 |
| ·MEFPI 应变温度交叉敏感特性及温度补偿方案 | 第62页 |
| ·小结 | 第62-64页 |
| 4 MEFPI 传感器信号解调及复用方法研究 | 第64-84页 |
| ·MEFPI 信号基本解调算法 | 第64-75页 |
| ·强度解调原理 | 第64-66页 |
| ·相位解调原理 | 第66-68页 |
| ·频域解调算法 | 第68-72页 |
| ·短腔长MEFPI 传感器信号解调方法的比较 | 第72-75页 |
| ·MEFPI 传感器并联复用技术 | 第75-80页 |
| ·复用能力分析 | 第75-78页 |
| ·MEFPI 传感器的并联复用 | 第78-80页 |
| ·MEFPI 的串连复用技术初探 | 第80-82页 |
| ·小结 | 第82-84页 |
| 5 基于功率谱估计的光纤法珀传感器复用方法研究 | 第84-102页 |
| ·谱估计方法简介 | 第84-93页 |
| ·经典功率谱估计 | 第85-88页 |
| ·基于参数建模的功率谱估计 | 第88-90页 |
| ·现代功率谱估计 | 第90-93页 |
| ·光纤菲佐气体压力传感器的复用 | 第93-97页 |
| ·相关矩阵特征值/奇异值分解算法 | 第97-101页 |
| ·自相关阵特征值/奇异值分解原理 | 第97-99页 |
| ·长腔长光纤法珀传感器复用实验 | 第99-101页 |
| ·小结 | 第101-102页 |
| 6 结论与展望 | 第102-104页 |
| ·全文总结 | 第102-103页 |
| ·展望 | 第103-104页 |
| 致谢 | 第104-105页 |
| 参考文献 | 第105-111页 |
| 附录：攻读硕士学位期间取得的成果 | 第111页 |
