低频微小振动的激光干涉测量方法与实验研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-16页 |
| ·高精度振动测量的目的与意义 | 第9页 |
| ·国内外研究现状 | 第9-14页 |
| ·本文的工作 | 第14-16页 |
| 第2章 光学干涉仪设计 | 第16-30页 |
| ·迈克尔逊干涉测量原理 | 第16-17页 |
| ·光路结构的设计与优化 | 第17-25页 |
| ·准猫眼动镜分析 | 第18-21页 |
| ·参考动镜与参考补偿镜之间的位置关系分析 | 第21-23页 |
| ·入射光线与参考动镜夹角的选择 | 第23-24页 |
| ·光程差计算 | 第24-25页 |
| ·光路结构的误差分析 | 第25-29页 |
| ·参考反射镜组整体旋转 | 第25-27页 |
| ·参考反射镜组整体平移 | 第27-28页 |
| ·参考动镜与参考补偿镜非正交 | 第28-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 第3章 基于交流相位跟踪的信号解调方法 | 第30-44页 |
| ·基于锁相放大的信号解调方法 | 第30-33页 |
| ·相关检测原理 | 第30-32页 |
| ·锁相放大器工作原理 | 第32-33页 |
| ·信号解调电路分析 | 第33-38页 |
| ·静态工作点的选择 | 第38-39页 |
| ·基于交流相位跟踪的静态工作点稳定模型 | 第39-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第4章 解调电路的设计与实现 | 第44-54页 |
| ·信号通道的电路设计与实现 | 第44-47页 |
| ·光电探测器 | 第44-45页 |
| ·前置放大器 | 第45-46页 |
| ·带通滤波器 | 第46-47页 |
| ·参考通道的电路设计与实现 | 第47-50页 |
| ·基准信号发生器 | 第47-49页 |
| ·带通滤波器 | 第49页 |
| ·移相器 | 第49-50页 |
| ·相关器的设计与实现 | 第50-51页 |
| ·乘法器 | 第50-51页 |
| ·积分器 | 第51页 |
| ·工作点稳定电路的设计 | 第51-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第5章 实验研究与实验结果分析 | 第54-63页 |
| ·实验系统的建立 | 第54-57页 |
| ·实验前的准备 | 第54-56页 |
| ·实验系统组成 | 第56-57页 |
| ·振动测量实验 | 第57-60页 |
| ·实验结果分析 | 第60-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 结论 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文和取得的科研成果 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70页 |
