TC4钛合金表面磁控溅射不锈钢薄膜制备及性能研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-17页 |
| ·课题背景 | 第8页 |
| ·钛合金表面处理现状 | 第8-13页 |
| ·钛合金性能及应用 | 第9-10页 |
| ·钛合金表面处理研究现状 | 第10-13页 |
| ·磁控溅射 | 第13-16页 |
| ·磁控溅射原理 | 第14-15页 |
| ·磁控溅射特点 | 第15-16页 |
| ·主要研究内容 | 第16-17页 |
| 第2章 试验材料与方法 | 第17-23页 |
| ·试验材料及试样制备 | 第17-18页 |
| ·试验材料 | 第17页 |
| ·试样制备 | 第17-18页 |
| ·试验设备及试验过程 | 第18-20页 |
| ·试验设备 | 第18-19页 |
| ·试验过程 | 第19-20页 |
| ·测试方法 | 第20-22页 |
| ·XRD分析 | 第20页 |
| ·SEM分析 | 第20页 |
| ·XPS分析 | 第20页 |
| ·耐腐蚀性能测试 | 第20页 |
| ·膜基结合力测试 | 第20-21页 |
| ·摩擦磨损性能测试 | 第21页 |
| ·超显微硬度测试 | 第21页 |
| ·抗氧化性能测试 | 第21-22页 |
| ·本章小结 | 第22-23页 |
| 第3章 不锈钢薄膜制备正交试验 | 第23-38页 |
| ·正交试验工艺参数设计 | 第23-24页 |
| ·性能分析 | 第24-36页 |
| ·摩擦学性能分析 | 第24-27页 |
| ·膜基结合力分析 | 第27-30页 |
| ·耐腐蚀性能分析 | 第30-34页 |
| ·抗氧化性能分析 | 第34-36页 |
| ·本章小结 | 第36-38页 |
| 第4章 磁控靶电流对不锈钢薄膜性能的影响 | 第38-55页 |
| ·工艺参数 | 第38页 |
| ·膜层表面形貌及组织 | 第38-41页 |
| ·膜层厚度 | 第41-42页 |
| ·薄膜硬度 | 第42-45页 |
| ·膜基结合力 | 第45页 |
| ·摩擦磨损性能分析 | 第45-48页 |
| ·电化学腐蚀性能分析 | 第48-51页 |
| ·抗氧化性能分析 | 第51-53页 |
| ·本章小结 | 第53-55页 |
| 第5章 基体偏压对不锈钢薄膜性能的影响 | 第55-68页 |
| ·工艺参数 | 第55页 |
| ·膜层表面形貌及组织 | 第55-57页 |
| ·膜层厚度 | 第57页 |
| ·薄膜硬度 | 第57-59页 |
| ·膜基结合力 | 第59-60页 |
| ·摩擦磨损性能分析 | 第60-63页 |
| ·电化学腐蚀性能分析 | 第63-65页 |
| ·抗氧化性能分析 | 第65-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 结论 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-77页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第77-78页 |
| 致谢 | 第78页 |
