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反应控制下超声对铜电化学沉积过程的影响研究

摘要第1-7页
ABSTRACT第7-10页
1 前言第10-17页
   ·超声的作用机理第10-11页
   ·超声在电化学中的应用第11-14页
   ·反应控制下超声对电化学过程的影响研究进展第14-16页
   ·本课题的研究内容和意义第16-17页
2 实验部分第17-22页
   ·仪器及试剂第17页
     ·仪器第17页
     ·试剂第17页
   ·实验方法第17-20页
     ·电极预处理第17-18页
     ·铜电化学沉积的交流阻抗谱的测定第18-19页
     ·铜电化学沉积的极化曲线的测定第19页
     ·铜电化学沉积层表面形貌和晶面取向的测定第19-20页
   ·数据处理第20-22页
     ·交流阻抗谱的数据处理第20页
     ·交换电流密度j0和电荷传递系数α的计算第20-21页
     ·铜电化学沉积层各晶面的织构系数的计算第21-22页
3 实验结果与讨论第22-59页
   ·不同超声条件下铜电化学沉积的交流阻抗谱第22-30页
     ·不同电位下铜电化学沉积的交流阻抗谱第23-26页
     ·超声功率对铜电化学沉积的交流阻抗谱的影响第26-27页
     ·超声频率对铜电化学沉积的交流阻抗谱的影响第27-29页
     ·小结第29-30页
   ·超声对铜电化学沉积反应动力学参数的影响第30-51页
     ·超声功率对铜电化学沉积反应动力学参数的影响第30-39页
     ·超声频率对铜电化学沉积反应动力学参数的影响第39-48页
     ·温度对铜电化学沉积反应动力学参数的影响第48-50页
     ·小结第50-51页
   ·超声对铜电化学沉积层表面形貌和晶面取向的影响第51-59页
     ·反应控制下超声对铜电化学沉积层表面形貌和晶面取向的影响第51-54页
     ·传质控制下超声对铜电化学沉积层表面形貌和晶面取向的影响第54-58页
     ·小结第58-59页
4 结论第59-61页
参考文献第61-69页
致谢第69页

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