| 摘要 | 第1-9页 |
| Abstract | 第9-12页 |
| 第一章 文献综述 | 第12-26页 |
| ·引言 | 第12-13页 |
| ·ZnO 的结构和性能 | 第13-15页 |
| ·ZnO 的晶体结构 | 第13-14页 |
| ·ZnO 的电学性质 | 第14页 |
| ·ZnO 的光学性质 | 第14-15页 |
| ·ZnO 薄膜的掺杂 | 第15-18页 |
| ·ZnO 的本征缺陷 | 第16-17页 |
| ·ZnO 的非故意掺杂 | 第17页 |
| ·ZnO 的n 型掺杂 | 第17-18页 |
| ·ZnO 薄膜的应用与制备方法 | 第18-23页 |
| ·ZnO 薄膜的应用 | 第18-19页 |
| ·ZnO 薄膜的制备方法 | 第19-23页 |
| ·本课题研究的意义和内容 | 第23-26页 |
| ·本课题研究的意义 | 第23-25页 |
| ·本课题研究的内容 | 第25-26页 |
| 第二章 薄膜制备的理论基础 | 第26-38页 |
| ·射频磁控溅射镀膜原理 | 第27-30页 |
| ·辉光放电原理 | 第27-29页 |
| ·磁控溅射镀膜过程 | 第29-30页 |
| ·磁控溅射镀膜原理 | 第30页 |
| ·薄膜的形成过程 | 第30-35页 |
| ·凝结过程 | 第30-31页 |
| ·成核理论 | 第31页 |
| ·薄膜生长过程与生长模式 | 第31-33页 |
| ·射频磁控溅射的成膜特点 | 第33页 |
| ·溅射法与蒸发法的薄膜形成过程的区别 | 第33-35页 |
| ·铝原子掺杂氧化锌薄膜成膜原理 | 第35-38页 |
| ·铝原子掺杂氧化锌薄膜形成途径 | 第35-36页 |
| ·铝原子掺杂氧化锌薄膜择优取向的机理分析 | 第36-38页 |
| 第三章 铝原子掺杂氧化锌薄膜的实验制备与表征 | 第38-43页 |
| ·铝原子掺杂氧化锌实验制备过程 | 第38-41页 |
| ·靶材 | 第38页 |
| ·衬底及其清洗 | 第38页 |
| ·实验设备 | 第38-41页 |
| ·铝原子掺杂氧化锌薄膜性能表征 | 第41-43页 |
| ·薄膜的结构表征 | 第41页 |
| ·薄膜的形貌表征 | 第41页 |
| ·薄膜的光学表征 | 第41-42页 |
| ·薄膜的电学表征 | 第42-43页 |
| 第四章 铝原子掺杂氧化锌薄膜性能分析 | 第43-62页 |
| ·铝原子掺杂氧化锌薄膜性能研究 | 第43-45页 |
| ·晶体结构分析 | 第43-44页 |
| ·电学性能 | 第44页 |
| ·光学性能 | 第44-45页 |
| ·实验参数对铝原子掺杂氧化锌薄膜性能的影响 | 第45-61页 |
| ·氧气氩气流量比对铝原子掺杂氧化锌薄膜性能的影响 | 第46-54页 |
| ·铝掺杂量对铝原子掺杂氧化锌薄膜性能的影响 | 第54-58页 |
| ·衬底温度对铝原子掺杂氧化锌薄膜性能的影响 | 第58-61页 |
| ·本章小结. | 第61-62页 |
| 第五章 铝原子掺杂氧化锌薄膜与钛基复合氧化锌掺铝薄膜的光电性能比较 | 第62-66页 |
| ·结构形貌比较 | 第62-63页 |
| ·ZAO 薄膜和Z/T/Z 薄膜的电学特性比较 | 第63-64页 |
| ·ZAO 薄膜和Z/T/Z 薄膜的光学特性比较 | 第64-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 全文总结 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-72页 |
| 硕士期间发表的论文 | 第72页 |