基于隧道效应的力平衡式MEMS陀螺仪设计研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 1. 绪论 | 第10-29页 |
| ·微机械陀螺的发展概述 | 第11-14页 |
| ·微机械陀螺的技术分类 | 第14-15页 |
| ·微机械陀螺的研究现状 | 第15-26页 |
| ·微机械隧道陀螺的研究目的及意义 | 第26-27页 |
| ·论文内容安排 | 第27-29页 |
| 2. 微机械隧道陀螺仪的设计理论基础 | 第29-49页 |
| ·微机械陀螺的工作原理 | 第29-36页 |
| ·Coriolis效应 | 第29-31页 |
| ·微机械陀螺的动力学分析 | 第31-36页 |
| ·微机械陀螺的驱动和检测 | 第36-42页 |
| ·静电驱动 | 第36-41页 |
| ·隧道电流检测 | 第41-42页 |
| ·微机械陀螺的空气阻尼 | 第42-45页 |
| ·压膜阻尼 | 第42-44页 |
| ·滑膜阻尼 | 第44-45页 |
| ·寄生CORIOLIS力 | 第45-46页 |
| ·轴向加速度的影响 | 第46-47页 |
| ·本章小结 | 第47-49页 |
| 3. 新型MEMS隧道陀螺的结构设计及动力学分析 | 第49-71页 |
| ·MEMS隧道陀螺结构设计 | 第49-53页 |
| ·MEMS设计方法与准则 | 第49-50页 |
| ·MEMS隧道陀螺的结构及工作原理 | 第50-53页 |
| ·MEMS隧道陀螺的机械性能分析 | 第53-60页 |
| ·驱动梁的力学分析 | 第54-56页 |
| ·检测梁的力学分析 | 第56-58页 |
| ·结构阻尼的分析 | 第58-59页 |
| ·静电驱动力的分析 | 第59-60页 |
| ·MEMS隧道陀螺的仿真分析 | 第60-66页 |
| ·模态分析 | 第61-63页 |
| ·静态位移及应力分析 | 第63-64页 |
| ·谐响应分析 | 第64-65页 |
| ·陀螺的基本参数确定 | 第65-66页 |
| ·MEMS隧道陀螺的高灵敏度分析 | 第66-68页 |
| ·陀螺的机械耦合误差分析 | 第68-69页 |
| ·本章小结 | 第69-71页 |
| 4. MEMS隧道陀螺的工艺及版图设计 | 第71-89页 |
| ·MEMS制造技术 | 第71-72页 |
| ·结构优化及工艺设计 | 第72-83页 |
| ·隧道陀螺的结构优化 | 第72-76页 |
| ·加工所需的关键工艺 | 第76-80页 |
| ·工艺流程设计 | 第80-82页 |
| ·隧尖结构与制备工艺 | 第82-83页 |
| ·版图设计 | 第83-88页 |
| ·版图设计规则 | 第83-84页 |
| ·MEMS隧道陀螺的版图设计 | 第84-88页 |
| ·本章小结 | 第88-89页 |
| 5. MEMS隧道电流检测研究 | 第89-97页 |
| ·隧道电流检测系统 | 第89-94页 |
| ·隧道电流检测原理 | 第89-90页 |
| ·隧道陀螺信号检测设计 | 第90-94页 |
| ·I-V转换电路 | 第90-92页 |
| ·放大电路 | 第92页 |
| ·反馈电路 | 第92-93页 |
| ·解调电路 | 第93-94页 |
| ·反馈控制原理 | 第94页 |
| ·常见的隧道传感器反馈控制电路 | 第94-96页 |
| ·本章小结 | 第96-97页 |
| 结论与展望 | 第97-99页 |
| 1、论文的主要研究内容及结论 | 第97-98页 |
| 2、论文的创新及特色 | 第98页 |
| 3、工作展望 | 第98-99页 |
| 参考文献 | 第99-105页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文及所取得的研究成果 | 第105-106页 |
| 致谢 | 第106页 |
