Sol-Gel法制备掺铝氧化锌薄膜及其性能研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-19页 |
| ·氧化锌的基本性质 | 第9-10页 |
| ·掺铝氧化锌薄膜研究动态及其应用 | 第10-13页 |
| ·透明导电膜 | 第11页 |
| ·红外反射膜 | 第11-12页 |
| ·发光二极管 | 第12页 |
| ·气体传感器 | 第12页 |
| ·压敏器件 | 第12-13页 |
| ·紫外探测器 | 第13页 |
| ·掺铝氧化锌薄膜的制备方法 | 第13-17页 |
| ·反应蒸发法 | 第13页 |
| ·电子束蒸发法 | 第13-14页 |
| ·脉冲激光沉积法 | 第14页 |
| ·化学气相沉积法 | 第14-15页 |
| ·原子层外延法 | 第15页 |
| ·喷雾热分解法 | 第15-16页 |
| ·溅射法 | 第16页 |
| ·溶胶-凝胶法 | 第16-17页 |
| ·本论文选题意义及研究内容 | 第17-19页 |
| 第二章 掺铝氧化锌薄膜表征手段 | 第19-24页 |
| ·X 射线衍射(XRD) | 第19-20页 |
| ·X 射线光电子能谱（XPS） | 第20-21页 |
| ·扫描电子显微镜（SEM） | 第21页 |
| ·紫外-可见分光光度计（UV-VIS） | 第21-22页 |
| ·光致发光谱（PL） | 第22-24页 |
| 第三章 SOL-GEL 法制备掺铝氧化锌薄膜 | 第24-31页 |
| ·制备溶胶 | 第25-26页 |
| ·处理衬底 | 第26-27页 |
| ·成膜 | 第27-28页 |
| ·预处理 | 第28-29页 |
| ·退火 | 第29-31页 |
| 第四章 实验结果及分析 | 第31-54页 |
| ·氧化锌薄膜结构分析 | 第31-36页 |
| ·衬底对氧化锌薄膜结构的影响 | 第31-33页 |
| ·预处理温度对氧化锌薄膜结构的影响 | 第33页 |
| ·退火温度对氧化锌薄膜结构的影响 | 第33-35页 |
| ·厚度对氧化锌薄膜结构的影响 | 第35-36页 |
| ·掺铝氧化锌薄膜结构分析 | 第36-40页 |
| ·掺铝氧化锌薄膜XPS 分析 | 第40-46页 |
| ·掺铝氧化锌薄膜表面形貌分析 | 第46-48页 |
| ·掺铝氧化锌薄膜光学性能分析 | 第48-52页 |
| ·掺铝氧化锌薄膜的吸收光谱 | 第48-50页 |
| ·掺铝氧化锌薄膜的光致发光谱 | 第50-52页 |
| ·掺铝氧化锌薄膜光电性能分析 | 第52-54页 |
| 第五章 主要结论 | 第54-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-59页 |
| 作者攻硕期间取得的成果 | 第59-60页 |
| 作者简介 | 第60页 |
