| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-26页 |
| 1．1 MEMS概述 | 第10-11页 |
| 1．2 压电薄膜制备方法和应用现状 | 第11-22页 |
| 1．2．1 压电材料的发展 | 第11-12页 |
| 1．2．2 PZT压电薄膜制备的各种方法 | 第12-18页 |
| 1．2．3 PZT薄膜的应用 | 第18-22页 |
| 1．3 压电薄膜在微流体领域的应用 | 第22-25页 |
| 1．4 本论文的主要内容 | 第25-26页 |
| 2 压电材料 | 第26-32页 |
| 2．1 压电材料的特性 | 第26-31页 |
| 2．1．1 钙钛矿型铁电体 | 第26-27页 |
| 2．1．2 压电效应及压电方程 | 第27-30页 |
| 2．1．3 Pb(Zr_xTi_(1-x))O_3固溶体相图 | 第30-31页 |
| 2．2 本章小结 | 第31-32页 |
| 3 水热合成法制备PZT压电薄膜 | 第32-47页 |
| 3．1 水热合成法简介 | 第32页 |
| 3．2 水热合成法设备的研制 | 第32-34页 |
| 3．3 水热合成法制备工艺 | 第34-36页 |
| 3．3．1 水热合成法原理 | 第34-35页 |
| 3．3．2 水热合成法制备过程 | 第35-36页 |
| 3．4 压电薄膜的基本评价 | 第36-45页 |
| 3．4．1 SEM表面形貌分析 | 第36-38页 |
| 3．4．2 XRD晶体分析 | 第38-43页 |
| 3．4．3 铁电性分析与极化方向确定 | 第43-44页 |
| 3．4．4 薄膜厚度的测量 | 第44页 |
| 3．4．5 薄膜密度的测量 | 第44-45页 |
| 3．5 本章小结 | 第45-47页 |
| 4 压电薄膜性能的研究 | 第47-61页 |
| 4．1 压电系数d_(31)的测量理论研究 | 第48-50页 |
| 4．2 压电系数d_(31)的测量实验及分析 | 第50-53页 |
| 4．2．1 实验设备介绍 | 第50-51页 |
| 4．2．2 实验数据分析 | 第51-53页 |
| 4．3 PZT薄膜微型悬臂的驱动能力分析 | 第53-54页 |
| 4．4 PZT薄膜微型悬臂结构的有限元分析 | 第54-60页 |
| 4．4．1 材料参数的选择 | 第54-55页 |
| 4．4．2 模型的建立 | 第55-56页 |
| 4．4．3 静态分析 | 第56-58页 |
| 4．4．4 模态分析 | 第58-60页 |
| 4．5 本章小结 | 第60-61页 |
| 5 压电泵的制备工艺 | 第61-67页 |
| 5．1 微泵的发展情况 | 第61-62页 |
| 5．2 微泵的制作流程 | 第62-66页 |
| 5．2．1 微泵结构设计 | 第62-65页 |
| 5．2．2 驱动元件与泵体的结合 | 第65-66页 |
| 5．3 本章小结 | 第66-67页 |
| 结论 | 第67-68页 |
| 展望 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 附录A 膜厚测量数据图 | 第73-74页 |
| 附录B 施加直流电压压电悬臂梁弯曲变形图 | 第74-75页 |
| 附录C 不同膜厚的压电悬臂梁共振频率及振动位移的测量 | 第75-77页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第77-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |
| 大连理工大学学位论文版权使用授权书 | 第79页 |