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多晶二氧化钛薄膜的制备、结构和光学性质

中文摘要第1-4页
ABSTRACT第4-7页
第一章 前言第7-22页
   ·TiO_2 的晶体结构和基本性质第7-9页
   ·光学常数和光学带隙第9-17页
   ·TiO_2 光催化活性的研究现状第17-21页
   ·本论文的主要工作第21-22页
第二章 TiO_2 薄膜的制备和表征第22-31页
   ·对向靶磁控溅射原理第22-26页
   ·TiO_2 薄膜的制备第26-28页
   ·TiO_2 薄膜的结构表征与光学性质测量第28-31页
第三章 多晶 TiO_2 薄膜的结构和光学性质第31-48页
   ·TiO_2 薄膜的溅射速率第31-33页
   ·制备态多晶 TiO_2 薄膜第33-41页
   ·退火多晶TiO_2薄膜第41-47页
   ·本章小结第47-48页
第四章 Fe掺杂多晶TiO_2薄膜的结构和光学性质第48-57页
   ·Fe 掺杂量和化学态的确定第48-51页
   ·Fe 掺杂多晶 TiO_2 薄膜的结构和形貌第51-54页
   ·Fe 掺杂多晶 TiO_2 薄膜的光学性质第54-56页
   ·本章小结第56-57页
第五章 结论第57-58页
参考文献第58-64页
攻读硕士学位期间发表的学术论文第64-65页
致谢第65页

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