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溅射法玻璃基TiO2膜、TiO2/TiN/TiO2复合膜制备及其结构和性能表征

摘要第1-7页
Abstract第7-13页
第1章 绪论第13-41页
 1.1 引言第13-14页
 1.2 二氧化钛薄膜光催化研究第14-20页
  1.2.1 二氧化钛光催化机理第14-15页
  1.2.2 提高二氧化钛光催化效率的具体方法第15-18页
  1.2.3 玻璃基二氧化钛光催化薄膜的制备方法第18-19页
  1.2.4 玻璃基二氧化钛光催化薄膜性能的表征第19-20页
  1.2.5 二氧化钛光催化镀膜玻璃的应用前景第20页
 1.3 节能镀膜玻璃第20-34页
  1.3.1 低辐射、阳光控制镀膜玻璃的节能原理第22-24页
  1.3.2 节能镀膜玻璃的种类第24-26页
  1.3.3 目前节能镀膜玻璃的制备方法第26-27页
  1.3.4 节能镀膜玻璃的性能评价参数第27-29页
  1.3.5 目前节能镀膜玻璃的不足和替代第29-31页
  1.3.6 节能镀膜玻璃的应用前景第31-34页
 1.4 本文的目的及研究内容第34-36页
 参考文献第36-41页
第2章 溅射法镀膜简介及本论文溅射镀膜和表征方法第41-50页
 2.1 引言第41页
 2.2 溅射镀膜法的原理第41-43页
 2.3 常用溅射方式第43-45页
 2.4 本论文的溅射制膜工艺第45-47页
 2.5 试样的结构与性能表征方法第47-48页
 参考文献第48-50页
第3章 玻璃基二氧化钛光催化膜的制备和性能表征第50-85页
 3.1 引言第50页
 3.2 氧气分压和离线热处理温度对TiO_2膜结构的影响第50-58页
  3.2.1 试样制备第50-51页
  3.2.2 结果与讨论第51-58页
 3.3 基片温度对TiO_2膜结构的影响第58-60页
  3.3.1 试样制备第58页
  3.3.2 结果与讨论第58-60页
 3.4 镀膜试样的荧光发射光谱第60-63页
  3.4.1 实验第61页
  3.4.2 结果与讨论第61-63页
 3.5 镀膜试样的XPS高分辨谱第63-66页
 3.6 镀膜试样的表面形貌第66-70页
  3.6.1 SEM观察第66-68页
  3.6.2 TEM观察第68页
  3.6.3 薄膜形貌的原子力显微镜(AFM)观察第68-70页
 3.7 镀膜玻璃试样的光学性能第70-75页
 3.8 镀膜试样的光催化性能第75-82页
  3.8.1 试样的润湿角测试第75-79页
  3.8.2 试样光催化降解有机物性能第79-82页
 3.9 本章小结第82页
 参考文献第82-85页
第4章 铈离子、氮离子掺杂对二氧化钛膜结构和性能的影响第85-102页
 4.1 铈离子掺杂TiO_2光催化镀膜玻璃的制备及性能表征第85-93页
  4.1.1 试样制备第85页
  4.1.2 结果与讨论第85-93页
 4.2 氮离子掺杂TiO_2镀膜玻璃的制备及性能表征第93-100页
  4.2.1 实验方法第94页
  4.2.2 结果与讨论第94-99页
  4.2.3 讨论第99-100页
 4.3 本章小结第100页
 参考文献第100-102页
第5章 氮化钛膜的制备和性能表征第102-121页
 5.1 引言第102-103页
 5.2 氮气分压对TiNx膜结构的影响第103-113页
  5.2.1 试样制备第103页
  5.2.2 镀膜试样XPS分析第103-104页
  5.2.3 镀膜试样XRD和TEM分析第104-105页
  5.2.4 镀膜试样SEM和AFM分析第105-107页
  5.2.5 镀膜试样的XPS高分辨谱分析第107-109页
  5.2.6 镀膜试样的电性能分析第109-111页
  5.2.7 镀膜试样光谱性能分析第111-113页
 5.3 热处理对TiN膜结构和性能的影响第113-118页
  5.3.1 样品热处理第113-114页
  5.3.2 表面电阻测试第114-115页
  5.3.3 热处理镀膜试样的SEM测试第115-116页
  5.3.4 热处理镀膜试样的XPS测试第116-118页
 5.4 小结第118-119页
 参考文献第119-121页
第6章 玻璃/二氧化钛/氮化钛/二氧化钛复合膜光学性能的计算机模拟第121-133页
 6.1 引言第121页
 6.2 理论计算原理第121-123页
 6.3 理论计算结果第123-132页
  6.3.1 玻璃/TiN的光谱曲线第123-125页
  6.3.2 玻璃/TiO_2/TiN的光谱曲线第125-129页
  6.3.3 玻璃/TiO_2/TiN/TiO_2的光谱曲线第129-132页
 6.4 小结第132页
 参考文献第132-133页
第7章 TiO_2/TiN/TiO_2多层复合膜的制备和表征第133-144页
 7.1 引言第133页
 7.2 TiO_2/TiN/TiO_2多层膜的制备与表征第133-142页
  7.2.1 样品制备第133-134页
  7.2.2 结果与讨论第134-142页
 7.3 小结第142-143页
 参考文献第143-144页
第8章 结论第144-146页
致谢第146-147页
读博士学位期间从事的科研项目和发表的论文第147-151页

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