| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-32页 |
| ·光纤通信发展中的光电子器件 | 第8-14页 |
| ·光电子器件的应用与发展推动着光纤通信的进步 | 第9-11页 |
| ·波分复用光纤通信系统及其光电子器件 | 第11-14页 |
| ·光波导耦合器的发展概况 | 第14-17页 |
| ·可调式光衰减器的发展概况 | 第17-20页 |
| ·SOI光波导器件的研究进展 | 第20-24页 |
| ·SOI材料制备工艺与SOI光波导 | 第20-22页 |
| ·SOI光波导器件 | 第22-24页 |
| ·本论文工作 | 第24-25页 |
| 参考文献 | 第25-32页 |
| 第二章 单模SOI脊形光波导的设计与制备 | 第32-50页 |
| ·引言 | 第32页 |
| ·单模SOI脊形光波导的设计 | 第32-41页 |
| ·SOI脊形光波导的单模条件 | 第32-35页 |
| ·单模SOI脊形光波导的波导结构参数优化 | 第35-41页 |
| ·SOI脊形光波导的传输损耗特性分析 | 第41-42页 |
| ·SOI脊形光波导的制备与测试 | 第42-46页 |
| ·SOI光波导材料 | 第42-44页 |
| ·SOI脊形光波导的制备与测试 | 第44-46页 |
| ·本章小结 | 第46-48页 |
| 参考文献 | 第48-50页 |
| 第三章 SOI脊形弯曲波导的设计与制备 | 第50-77页 |
| ·引言 | 第50页 |
| ·曲线型SOI脊形弯曲波导的设计 | 第50-61页 |
| ·曲线型SOI脊形弯曲波导损耗的影响因素分析 | 第50-52页 |
| ·用光束传播法(BPM)模拟分析曲线型SOI脊形弯曲波导 | 第52-57页 |
| ·S型SOI脊形弯曲波导的优化设计 | 第57-61页 |
| ·全内反射型90℃SOI脊形弯曲波导的设计与制备 | 第61-73页 |
| ·时域有限差分方法(FDTD) | 第62-65页 |
| ·全内反射型90℃SOI脊形弯曲波导的设计与优化 | 第65-70页 |
| ·全内反射型90℃SOI脊形弯曲波导的制备与测试 | 第70-73页 |
| ·本章小结 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-77页 |
| 第四章 SOI集成光波导耦合器的设计与制备 | 第77-102页 |
| ·引言 | 第77页 |
| ·Y分支SOI波导耦合器的设计与制备 | 第77-85页 |
| ·Y分支SOI波导耦合器的设计 | 第78-83页 |
| ·Y分支SOI波导耦合器的制作容差性分析 | 第83-84页 |
| ·Y分支SOI波导耦合器的制备与测试 | 第84-85页 |
| ·1×2 SOI多模干涉耦合器的设计与制备 | 第85-92页 |
| ·多模干涉耦合器的基本原理 | 第85-88页 |
| ·1×2 SOI多模干涉耦合器的设计 | 第88-90页 |
| ·1×2 SOI多模干涉耦合器的制作容差性分析 | 第90-91页 |
| ·1×2 SOI多模干涉耦合器的制备与测试 | 第91-92页 |
| ·T分支SOI波导耦合器的设计与制备 | 第92-99页 |
| ·T分支SOI波导结构的设计 | 第92-96页 |
| ·T分支SOI波导结构的制作容差性分析 | 第96-97页 |
| ·T分支SOI波导耦合器的制备与测试 | 第97-99页 |
| ·本章小结 | 第99-100页 |
| 参考文献 | 第100-102页 |
| 第五章 SOI基电光可调式光衰减器的设计与制备 | 第102-121页 |
| ·引言 | 第102页 |
| ·硅的电光调制机理 | 第102-105页 |
| ·PIN载流子大注入结构 | 第105-111页 |
| ·物理模型建立 | 第107-109页 |
| ·模拟结果 | 第109-111页 |
| ·SOI基电光可调式光衰减器的调制结构 | 第111-113页 |
| ·SOI基电光可调式光衰减器的制备 | 第113-116页 |
| ·SOI基电光可调式光衰减器原型器件的性能测试 | 第116-118页 |
| ·本章小结 | 第118-119页 |
| 参考文献 | 第119-121页 |
| 第六章 结论 | 第121-123页 |
| 攻读博士学位期间发表的学术论文与成果 | 第123-126页 |
| 致谢 | 第126-127页 |
| 个人简历 | 第127-128页 |