转动竖直微镜的硅微机械光开关研究
| 中文摘要 | 第1-3页 |
| 英文摘要 | 第3-6页 |
| 第一章 绪论 | 第6-28页 |
| 1 引言 | 第6-15页 |
| ·几种典型的静电力执行器 | 第7-10页 |
| ·MEMS加工技术 | 第10-15页 |
| 2 几种典型的MOEMS器件 | 第15-22页 |
| ·光源 | 第16-17页 |
| ·微机械可调光衰减器 | 第17页 |
| ·自由空间光学 | 第17-19页 |
| ·光探测器 | 第19-20页 |
| ·可调谐滤波器 | 第20页 |
| ·微显示 | 第20-21页 |
| ·光信息读取 | 第21-22页 |
| 3 微机械光开关 | 第22-28页 |
| ·基于移动光纤型的微机械光开关 | 第23-24页 |
| ·基于微镜的微机械光开关 | 第24-26页 |
| ·本论文研究工作 | 第26-28页 |
| 第二章 微机械光开关光学设计 | 第28-46页 |
| 1 光开关耦合损耗分析 | 第28-38页 |
| ·单模光纤耦合损耗分析 | 第28-30页 |
| ·镜面引起的损耗和串扰分析 | 第30-36页 |
| ·2x2微机械光开关的损耗估算 | 第36-38页 |
| 2 1x2微机械光开关的光学设计 | 第38-41页 |
| ·微机械光开关和光开关阵列的光学耦合方法 | 第38-39页 |
| ·微机械光开关光学耦合的媒介 | 第39-41页 |
| 3 1x2转动竖直微镜微机械光开关的光学设计 | 第41-46页 |
| ·光学耦合媒介 | 第41页 |
| ·微机械光开关光路设计 | 第41-43页 |
| ·球透镜耦合效率的计算 | 第43-45页 |
| ·小结 | 第45-46页 |
| 第三章 微机械光开关的执行器设计 | 第46-58页 |
| 1 微机械执行器的静电耦合 | 第46-51页 |
| ·光开关器件对微机械执行器的要求 | 第46-47页 |
| ·平行板电容静电力执行器 | 第47-48页 |
| ·静电力水平扭矩执行器 | 第48-51页 |
| 2 微机械光开关执行器数值模拟 | 第51-58页 |
| ·执行器的电-机械耦合模拟 | 第51-52页 |
| ·ANSYS模拟过程 | 第52-53页 |
| ·ANSYS模拟的执行器位移曲线 | 第53-55页 |
| ·电场静电力结果 | 第55页 |
| ·微机械光开关执行器谐振频率分析 | 第55-56页 |
| ·微机械光开关固定卡簧设计 | 第56-57页 |
| ·小结 | 第57-58页 |
| 第四章 微机械光开关的制作和测试 | 第58-73页 |
| 1 竖直微镜制作技术 | 第58-61页 |
| ·湿法腐蚀的方法 | 第58-59页 |
| ·DRIE刻蚀技术 | 第59-61页 |
| 2 光开关器件的制作 | 第61-68页 |
| ·微执行器和U形槽的制作 | 第61-62页 |
| ·微镜的制作 | 第62-63页 |
| ·光开关器件的制作 | 第63-65页 |
| ·光开关器件芯片制作结果 | 第65-68页 |
| 3 光开关器件测试与讨论 | 第68-73页 |
| ·光开关器件的测试标准 | 第68页 |
| ·静态电学测试 | 第68-70页 |
| ·动态电学测试 | 第70-71页 |
| ·光学测试 | 第71-72页 |
| ·存在问题和讨论 | 第72-73页 |
| 第五章 结论 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-78页 |
| 发表文章和申请专利目录 | 第78-79页 |
| 致谢 | 第79-80页 |
| 作者简历 | 第80-81页 |
| 附件一 | 第81-82页 |
| 附件二 | 第82-83页 |
| 附件三 | 第83-87页 |
