| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-20页 |
| ·引言 | 第10-11页 |
| ·纳米材料及其基本特性 | 第11-12页 |
| ·纳米材料简介 | 第11页 |
| ·纳米材料的基本特性 | 第11-12页 |
| ·ZnO纳米结构及其基本性质 | 第12-15页 |
| ·ZnO纳米结构 | 第12-14页 |
| ·ZnO的基本性能 | 第14-15页 |
| ·ZnO低维纳米材料的制备方法 | 第15-17页 |
| ·主要的物理制备方法 | 第16页 |
| ·主要的化学制备方法 | 第16-17页 |
| ·AZO薄膜的研究现状和发展趋势 | 第17-19页 |
| ·AZO薄膜的国外研究现状 | 第17-18页 |
| ·AZO薄膜的国内研究现状 | 第18-19页 |
| ·本文的研究目的、意义和内容 | 第19-20页 |
| 第二章 实验原理和薄膜制备过程 | 第20-36页 |
| ·ZnO的晶体结构及其特性 | 第20-22页 |
| ·ZnO的晶体结构 | 第20-21页 |
| ·ZnO的半导体特性 | 第21-22页 |
| ·溶胶-凝胶法的基本原理 | 第22-25页 |
| ·溶胶-凝胶 | 第22-23页 |
| ·溶胶-凝胶法的基本原理 | 第23-24页 |
| ·溶胶与凝胶的特点及优点 | 第24-25页 |
| ·AZO薄膜的制备过程 | 第25-29页 |
| ·实验仪器与实验药品 | 第25-26页 |
| ·溶胶的配制 | 第26-28页 |
| ·薄膜的制备 | 第28-29页 |
| ·薄膜的热处理 | 第29页 |
| ·测试方法及基本原理 | 第29-36页 |
| ·X射线衍射(XRD) | 第29-31页 |
| ·扫描电子显微镜(SEM) | 第31-32页 |
| ·范德堡法(Van der Pauw method) | 第32-35页 |
| ·紫外-可见光光谱 | 第35-36页 |
| 第三章 玻璃衬底制备的AZO纳米颗粒膜性能研究 | 第36-44页 |
| ·AZO薄膜的电学性能研究 | 第36-37页 |
| ·AZO薄膜的紫外-可见光透射光谱分析 | 第37-39页 |
| ·掺杂浓度对AZO薄膜结晶性能的影响 | 第39-44页 |
| ·X射线衍射分析(XRD) | 第39-43页 |
| ·扫描电镜分析(SEM) | 第43-44页 |
| 第四章 SI(100)衬底制备的AZO纳米颗粒膜性能研究 | 第44-52页 |
| ·掺杂浓度对AZO薄膜结晶性能的影响 | 第44-49页 |
| ·X射线衍射分析(XRD) | 第44-47页 |
| ·扫描电镜分析(SEM) | 第47-49页 |
| ·AZO薄膜的电学性能研究 | 第49-52页 |
| 第五章 结论 | 第52-54页 |
| 参考文献 | 第54-60页 |
| 致谢 | 第60页 |