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成像光谱仪用光栅的研究

中文摘要第1-5页
Abstract第5-9页
第一章 绪论第9-14页
   ·课题背景及意义第9-10页
   ·成像光谱仪用光栅的现状第10-13页
     ·传统光栅的现状第10-11页
     ·新型宽波段光栅的研究现状第11-13页
   ·本课题的研究工作第13-14页
第二章 研究光栅衍射效率的基本理论第14-21页
   ·引言第14页
   ·标量理论和严格耦合波理论第14-19页
     ·标量理论第14-16页
     ·严格耦合波理论第16-18页
     ·两种理论比较第18-19页
   ·偏振特性分析标量理论的适用范围第19-20页
   ·本章小结第20-21页
第三章 闪耀光栅设计及误差分析第21-33页
   ·引言第21页
   ·锯齿槽光栅的设计思路第21-23页
   ·光栅的结构参数和衍射效率曲线第23-26页
     ·紫外锯齿槽光栅的结构参数及衍射效率第23-24页
     ·可见近红外锯齿槽光栅的结构参数及衍射效率第24页
     ·短波红外锯齿槽光栅的结构参数及衍射效率第24-25页
     ·8-10.5μm 波段锯齿槽光栅的结构参数及衍射效率第25页
     ·10.5-14μm 波段锯齿槽光栅的结构参数及衍射效率第25-26页
   ·光栅制造误差第26-29页
     ·全息离子束刻蚀法制作误差第26-28页
     ·金刚石车削法制作误差第28-29页
   ·误差对衍射效率的影响第29-32页
     ·全息离子束刻蚀法制作锯齿槽光栅的误差分析(0.4-1.0μm)第29-31页
     ·单点金刚石车削制作锯齿槽光栅的误差分析(8-10.5μm)第31-32页
   ·本章小结第32-33页
第四章 双闪耀光栅的特性分析及设计第33-43页
   ·引言第33-34页
   ·双面闪耀光栅第34-35页
   ·双角闪耀光栅特性分析第35-39页
     ·双角闪耀光栅的闪耀特性第35-38页
     ·双角闪耀光栅的偏振特性第38-39页
   ·双角闪耀光栅的设计思路及结果第39-42页
   ·本章小结第42-43页
第五章 浸没光栅的衍射特性及设计第43-51页
   ·引言第43页
   ·浸没光栅衍射特性分析第43-46页
   ·浸没光栅衍射效率的优化第46-50页
     ·优化思想第46-47页
     ·0.4-0.8μm 和 1-2μm 的优化结果第47-48页
     ·锯齿槽和矩形槽浸没光栅的设计结果第48-50页
   ·本章小结第50-51页
第六章 总结与展望第51-53页
参考文献第53-56页
攻读学位期间发表的论文第56-57页
致谢第57-58页

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