| 中文摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第一章 引言 | 第8-17页 |
| ·低温等离子体的概述 | 第8-9页 |
| ·感应耦合等离子体源的研究与应用 | 第9-15页 |
| ·常规感应耦合等离子体源 | 第9-11页 |
| ·小型感应耦合等离子体源 | 第11-15页 |
| ·本文的研究内容 | 第15-17页 |
| 第二章 自制小型感应耦合等离子体源及等离子体诊断方法 | 第17-31页 |
| ·自制小型感应耦合等离子体源 | 第17-20页 |
| ·等离子体诊断方法 | 第20-31页 |
| ·朗缪尔探针技术 | 第22-26页 |
| ·发射光谱技术 | 第26-31页 |
| 第三章 不同激发频率下小型感应耦合等离子体参量的测量 | 第31-54页 |
| ·小型感应耦合等离子体源的放电特征 | 第31-32页 |
| ·小型感应耦合等离子体源的朗缪尔探针诊断 | 第32-44页 |
| ·利用I-V 特征曲线计算等离子体参量 | 第32-35页 |
| ·射频输入功率对等离子体参量的影响 | 第35-38页 |
| ·放电气压对等离子体参量的影响 | 第38-40页 |
| ·感应耦合等离子体轴向参量的变化 | 第40-42页 |
| ·射频输入功率和放电气压对电子能量几率分布函数的影响 | 第42-44页 |
| ·小型感应耦合等离子体源的发射光谱诊断 | 第44-54页 |
| ·小型感应耦合等离子体的气体转动温度 | 第44-50页 |
| ·小型感应耦合等离子体的电子激发温度 | 第50-54页 |
| 第四章 结论 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-58页 |
| 攻读学位期间公开发表的论文 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 详细摘要 | 第60-62页 |
