| 摘要 | 第1-3页 |
| Abstract | 第3-5页 |
| 中文文摘 | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 绪论 | 第9-13页 |
| 引言 | 第9页 |
| ZnO薄膜的基本性质 | 第9-11页 |
| Zno薄膜的基本制备方法 | 第11页 |
| Zno薄膜的研究历程和发展趋势 | 第11页 |
| ZnO薄膜的应用 | 第11-12页 |
| 本论文的研究内容 | 第12-13页 |
| 第一章 溅射功率对掺铝氧化锌薄膜光电学性质的影响 | 第13-23页 |
| 第一节 引言 | 第13页 |
| 第二节 实验过程 | 第13-14页 |
| 第三节 结果和讨论 | 第14-21页 |
| 第四节 本章小结 | 第21-23页 |
| 第二章 氧气流量对磁控溅射制备AZO薄膜特性的影响 | 第23-31页 |
| 第一节 引言 | 第23页 |
| 第二节 实验过程 | 第23-24页 |
| 第三节 结果与讨论 | 第24-28页 |
| 第四节 本章小结 | 第28-31页 |
| 第三章 磁控溅射制备的透明导电AZO/金属双层薄膜的特性研究 | 第31-39页 |
| 第一节 引言 | 第31页 |
| 第二节 实验过程 | 第31-32页 |
| 第三节 结果和讨论 | 第32-37页 |
| 第四节 本章小结 | 第37-39页 |
| 第四章 掺铝氧化锌薄膜在盐酸溶液中腐蚀后的特性研究 | 第39-47页 |
| 第一节 引言 | 第39页 |
| 第二节 实验过程 | 第39-40页 |
| 第三节 结果和讨论 | 第40-46页 |
| 第四节 本章小结 | 第46-47页 |
| 第五章 结论 | 第47-49页 |
| 参考文献 | 第49-55页 |
| 攻读学位期间承担的科研任务与主要成果 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
| 个人简历 | 第57页 |
