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GaAs基AlGaAsSb/InGaAsSb锑化物激光器材料和器件的研究

摘要第1-5页
Abstract第5-6页
目录第6-7页
第一章 绪论第7-8页
第二章 文献综述第8-15页
   ·量子阱激光器发展概况第8-9页
   ·GaSb基锑化物半导体激光器研究进展第9-10页
   ·影响锑化物激光器性能的工艺第10-12页
   ·锑化物材料目前存在的问题第12-13页
   ·GaAs基锑化物激光器材料第13-15页
第三章 分子束外延(MBE)技术与设备第15-24页
   ·分子束外延基本原理和优点第15-19页
   ·MBE生长条件优化第19-24页
第四章 利用缓冲层技术的锑化物材料生长研究第24-35页
   ·外延材料的测试分析设备介绍第24页
   ·RHEED在GaSb/GaAs生长的应用第24-26页
   ·理论模拟GaSb发射谱第26-27页
   ·GaSb/GaAs的光谱实验结果第27-29页
   ·A1Sb低温缓冲层的研究第29-33页
   ·小结第33-35页
第五章 Al GaAsSb/InGaAsSb的MBE生长及制备第35-39页
   ·A1GaAsSb/InGaAsSb量子阱激光器的设计第35-36页
   ·A1GaAsSb/InGaAsSb量子阱激光器的制备第36-39页
第六章 结论第39-40页
致谢第40-41页
参考文献第41-42页

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