| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 1 绪论 | 第7-13页 |
| ·磁控溅射技术简介 | 第7-9页 |
| ·磁控溅射技术的发展现状 | 第7-8页 |
| ·磁控溅射技术的原理 | 第8-9页 |
| ·磁控溅射技术对电源的要求 | 第9-11页 |
| ·电源输出的要求 | 第9-10页 |
| ·负载特性的要求 | 第10-11页 |
| ·国内外磁控溅射电源的研究现状 | 第11-12页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第12-13页 |
| 2 有限双极性ZVZCS PWM DC/DC变换器的工作原理 | 第13-24页 |
| ·全桥PWM DC/DC变换器及其控制方式 | 第13-15页 |
| ·软开关技术介绍 | 第15-16页 |
| ·有限双极性ZVZCS PWM DC/DC变换器 | 第16-23页 |
| ·工作原理分析 | 第16-17页 |
| ·工作模态分析 | 第17-20页 |
| ·拓扑特性分析 | 第20-23页 |
| ·小结 | 第23-24页 |
| 3 磁控溅射电源整体方案与变换器主电路的参数设计 | 第24-44页 |
| ·电源整体方案设计 | 第24-25页 |
| ·变换器的控制方式选择 | 第25-27页 |
| ·变换器的技术指标 | 第25页 |
| ·控制方式的选择 | 第25-27页 |
| ·有限双极性ZVZCS PWM DC/DC变换器主电路的参数设计 | 第27-43页 |
| ·输入电路的设计 | 第27-30页 |
| ·主功率开关管及输出整流二极管的选择 | 第30-31页 |
| ·阻断电容与串联二极管的选择 | 第31-32页 |
| ·功率变压器的设计 | 第32-36页 |
| ·输出滤波电路的设计 | 第36-40页 |
| ·副边RCD钳位电路的设计 | 第40-43页 |
| ·小结 | 第43-44页 |
| 4 控制与驱动电路的设计 | 第44-56页 |
| ·控制电路的设计 | 第44-53页 |
| ·SG3525芯片介绍 | 第44-46页 |
| ·有限双极性控制PWM信号的生成原理 | 第46-47页 |
| ·电流闭环控制电路的设计与仿真 | 第47-52页 |
| ·灭弧保护电路的设计 | 第52-53页 |
| ·驱动电路的设计 | 第53-55页 |
| ·功率MOSFET驱动电路的分析 | 第53-54页 |
| ·IR2110芯片介绍 | 第54-55页 |
| ·驱动电路的设计 | 第55页 |
| ·小结 | 第55-56页 |
| 5 仿真与实验验证 | 第56-64页 |
| ·工作原理的仿真与实验验证 | 第57-59页 |
| ·软开关实现效果的仿真与实验验证 | 第59-62页 |
| ·ZVS实现效果的仿真与实验验证 | 第59-60页 |
| ·ZCS实现效果的仿真与实验验证 | 第60-62页 |
| ·RCD钳位效果的仿真与实验验证 | 第62-63页 |
| ·小结 | 第63-64页 |
| 6 全文总结 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-67页 |