| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-18页 |
| ·微机电系统的概述 | 第8-11页 |
| ·微机电系统的发展状况 | 第8-9页 |
| ·微驱动器的驱动方式 | 第9-11页 |
| ·形状记忆合金用作微驱动器的发展状况 | 第11-16页 |
| ·SMA 在微驱动器的应用 | 第11页 |
| ·SMA 薄膜用作微驱动器的应用实例 | 第11-15页 |
| ·SMA 驱动原理 | 第15-16页 |
| ·本文研究的意义及主要内容 | 第16-18页 |
| ·本文研究的意义 | 第16-17页 |
| ·本文研究的主要内容 | 第17-18页 |
| 2 形状记忆合金特性介绍 | 第18-28页 |
| ·形状记忆合金简介 | 第18-20页 |
| ·形状记忆合金的特性 | 第20-27页 |
| ·形状记忆效应(SME) | 第20-24页 |
| ·超弹性(PE) | 第24-25页 |
| ·其他特性 | 第25-27页 |
| ·小结 | 第27-28页 |
| 3 记忆合金薄膜单轴拉伸行为的数值模拟 | 第28-51页 |
| ·Liang-Rogers 模型介绍 | 第28-33页 |
| ·Liang-Rogers 本构模型的推导 | 第29-30页 |
| ·相变运动方程的研究 | 第30-33页 |
| ·验证Liang-Rogers 模型在SMA 薄膜领域的适用性 | 第33-50页 |
| ·MATLAB 程序的验证 | 第33-36页 |
| ·不同温度，不同成分影响下的SMA 薄膜热机行为的数值模拟验证 | 第36-50页 |
| ·不同成分的SMA 薄膜在同一操作温度下超弹性拉伸应力应变曲线模拟 | 第37-43页 |
| ·不同温度的SMA 薄膜的数值模拟验证 | 第43-50页 |
| ·小结 | 第50-51页 |
| 4 记忆合金/Si 复合膜驱动性能的力学建模与仿真 | 第51-65页 |
| ·SMA 薄膜/Si 基片耦合结构的力学建模 | 第51-57页 |
| ·数值模拟计算思想 | 第57页 |
| ·数值模拟结果及驱动分析 | 第57-63页 |
| ·小结 | 第63-65页 |
| 全文总结与展望 | 第65-67页 |
| 主要结论 | 第65页 |
| 本文的主要创新点 | 第65页 |
| 展望 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 附录 | 第71-83页 |
| 致谢 | 第83-84页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第84-85页 |
