无弧MEMS电接触器
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-19页 |
| ·微机电系统（MEMS） | 第11-15页 |
| ·MEMS 国内外研究现状 | 第11-12页 |
| ·MEMS 的应用 | 第12-14页 |
| ·MEMS 的发展趋势 | 第14-15页 |
| ·电弧与电接触简介 | 第15-17页 |
| ·开关电弧简介 | 第15-16页 |
| ·现有灭弧技术简介 | 第16-17页 |
| ·本课题研究意义与研究内容 | 第17-19页 |
| ·研究意义 | 第17-18页 |
| ·研究内容 | 第18-19页 |
| 第二章 电弧熄灭的理论研究与仿真设计 | 第19-31页 |
| ·电弧特性 | 第19-22页 |
| ·电弧的产生 | 第19-20页 |
| ·电弧的组成 | 第20-21页 |
| ·电弧的伏安特性 | 第21-22页 |
| ·直流电弧的熄灭 | 第22-24页 |
| ·直流电弧的熄灭条件 | 第22-23页 |
| ·直流电弧熄灭的方法 | 第23-24页 |
| ·基于并联电阻的灭弧设计与仿真 | 第24-30页 |
| ·并联电阻灭弧的理论依据 | 第24-25页 |
| ·并联电阻灭弧原理 | 第25-27页 |
| ·并联电阻灭弧仿真 | 第27-30页 |
| ·模型I 设计与仿真分析 | 第28-29页 |
| ·模型II 设计与仿真分析 | 第29-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 无弧电接触器的结构设计与仿真 | 第31-47页 |
| ·结构初步设计 | 第31-35页 |
| ·整体结构与工作原理 | 第31-32页 |
| ·材料选择 | 第32-34页 |
| ·结构参数的选取 | 第34-35页 |
| ·悬臂梁ANSYS 有限元分析 | 第35-43页 |
| ·理论分析与计算 | 第35-40页 |
| ·悬臂梁最大位移量与宽度的关系 | 第38-39页 |
| ·悬臂梁最大位移量与长度的关系 | 第39-40页 |
| ·悬臂梁最大位移量与厚度的关系 | 第40页 |
| ·ANSYS 仿真结果 | 第40-43页 |
| ·位移仿真 | 第40-41页 |
| ·应力分析 | 第41-42页 |
| ·模态分析 | 第42-43页 |
| ·悬臂梁结构的优化设计 | 第43页 |
| ·支撑弹簧ANSYS 有限元分析 | 第43-46页 |
| ·模型建立 | 第43-44页 |
| ·位移特性 | 第44-45页 |
| ·支撑弹簧最大位移量与弹簧数目的关系 | 第44页 |
| ·支撑弹簧最大位移量与弹簧厚度的关系 | 第44-45页 |
| ·应力分析 | 第45-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第四章 无弧电接触器的制备与性能测试 | 第47-65页 |
| ·非硅微加工技术介绍 | 第47-48页 |
| ·关键工艺 | 第48-60页 |
| ·光刻 | 第48-51页 |
| ·溅射 | 第51-52页 |
| ·电镀 | 第52-54页 |
| ·刻蚀 | 第54-56页 |
| ·光刻胶牺牲层工艺 | 第56-59页 |
| ·净化与清洗 | 第59-60页 |
| ·单元器件制备工艺流程 | 第60-62页 |
| ·器件性能测试 | 第62-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 第五章 基于可变电容的灭弧设计与仿真 | 第65-70页 |
| ·可变电容灭弧原理设计 | 第65-66页 |
| ·可变电容灭弧Simulink 仿真 | 第66-69页 |
| ·Simulink 仿真模型构建 | 第66-67页 |
| ·不同接触电压下的仿真结果 | 第67-68页 |
| ·不同可变电容范围下的仿真结果 | 第68-69页 |
| ·本章小结 | 第69-70页 |
| 第六章 总结与展望 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文和申请的专利 | 第74页 |
