| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-21页 |
| ·背景与意义 | 第9-14页 |
| ·需求背景 | 第9-12页 |
| ·研究背景 | 第12-13页 |
| ·研究目的与意义 | 第13-14页 |
| ·国内外研究进展 | 第14-19页 |
| ·清洗技术的发展历程 | 第14-15页 |
| ·激光清洗技术的应用领域 | 第15-19页 |
| ·用于精密清洗 | 第16-17页 |
| ·用于大型物体的清洗 | 第17-18页 |
| ·用于在线清洗 | 第18-19页 |
| ·国内的发展状况 | 第19页 |
| ·本论文的研究内容 | 第19-21页 |
| 第二章 激光清洗光学元件表面污染物的理论模型 | 第21-42页 |
| ·激光清洗技术原理介绍 | 第21-24页 |
| ·干式激光清洗原理 | 第21-22页 |
| ·湿式激光清洗原理 | 第22-23页 |
| ·激光等离子体冲击波清洗原理 | 第23-24页 |
| ·颗粒污染物的吸附模型 | 第24-30页 |
| ·颗粒在表面的吸附力 | 第24-25页 |
| ·颗粒在表面的范德华力 | 第25-27页 |
| ·颗粒表面吸附力引起的形变 | 第27-29页 |
| ·颗粒吸附力模型 | 第29-30页 |
| ·干式激光清洗颗粒污染物的理论模型 | 第30-32页 |
| ·激光等离子体冲击波清洗颗粒污染物的理论模型 | 第32-40页 |
| ·激光等离子体冲击波的产生和传播机理 | 第33-38页 |
| ·激光辐照导致气体的击穿 | 第33-34页 |
| ·激光等离子体冲击波的传播机制 | 第34-38页 |
| ·激光等离子体冲击波清洗力模型 | 第38-39页 |
| ·激光等离子体冲击波清除颗粒模型 | 第39-40页 |
| ·激光清洗油脂污染物理论模型 | 第40-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第三章 激光清洗光学元件表面污染物的理论计算 | 第42-54页 |
| ·颗粒吸附力的理论计算 | 第42-43页 |
| ·干式激光清洗颗粒污染物的理论计算 | 第43-45页 |
| ·激光等离子体冲击波移除颗粒污染物理论计算 | 第45-50页 |
| ·激光等离子体冲击波清洗力的理论计算 | 第45-46页 |
| ·激光等离子体冲击波清洗K9表面SiO_2颗粒的理论计算 | 第46-48页 |
| ·激光等离子体冲击波清洗镀金K9表面SiO_2颗粒的理论计算 | 第48-50页 |
| ·激光等离子体冲击波清洗的安全性讨论 | 第50页 |
| ·激光清洗油脂污染物的理论计算 | 第50-52页 |
| ·本章小结 | 第52-54页 |
| 第四章 激光等离子体冲击波清洗光学元件表面颗粒污染物实验研究 | 第54-65页 |
| ·清洗K9玻璃表面颗粒污染物 | 第54-59页 |
| ·实验准备和操作 | 第54-56页 |
| ·实验结果与讨论 | 第56-59页 |
| ·扫描清洗效果分析 | 第56-57页 |
| ·单点清洗效果分析 | 第57-59页 |
| ·清洗镀金K9玻璃表面颗粒污染物 | 第59-64页 |
| ·实验准备和操作 | 第59-60页 |
| ·实验结果和讨论 | 第60-64页 |
| ·扫描清洗效果分析 | 第60-62页 |
| ·单点清洗效果分析 | 第62-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 第五章 激光清洗镀金光学元件表面油脂污染物实验 | 第65-75页 |
| ·相同污染程度下的清洗实验 | 第65-70页 |
| ·实验准备和操作 | 第65-66页 |
| ·实验结果和讨论 | 第66-70页 |
| ·激光清洗效果判断 | 第66-68页 |
| ·激光能量的影响 | 第68-69页 |
| ·作用时间的影响 | 第69-70页 |
| ·不同污染程度下的清洗实验 | 第70-74页 |
| ·实验准备和操作 | 第70-71页 |
| ·实验结果和讨论 | 第71-74页 |
| ·实验1结果与讨论 | 第71-72页 |
| ·实验2结果与讨论 | 第72-74页 |
| ·本章小结 | 第74-75页 |
| 第六章 总结与展望 | 第75-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |
| 参考文献 | 第79-83页 |
| 附录 | 第83页 |
