| 摘要 | 第8-9页 |
| Abstract | 第9-10页 |
| 第1章 绪论 | 第12-22页 |
| 1.1 研究背景 | 第12页 |
| 1.2 碳基薄膜材料简介 | 第12-17页 |
| 1.2.1 类金刚石薄膜简介 | 第13-15页 |
| 1.2.2 类富勒烯薄膜简介 | 第15-17页 |
| 1.3 类金刚石薄膜的制备与表征 | 第17-20页 |
| 1.3.1 类金刚石薄膜的制备 | 第17-19页 |
| 1.3.2 类金刚石薄膜的表征 | 第19-20页 |
| 1.4 论文的选题依据和研究内容 | 第20-22页 |
| 第2章 载荷对类富勒烯薄膜摩擦学行为的影响 | 第22-30页 |
| 2.1 引言 | 第22页 |
| 2.2 实验部分 | 第22-24页 |
| 2.2.1 样品制备 | 第22-23页 |
| 2.2.2 摩擦实验与样品表征 | 第23-24页 |
| 2.3 结果与讨论 | 第24-29页 |
| 2.3.1 潮湿大气中类富勒烯薄膜结构的变化 | 第24-28页 |
| 2.3.2 自配对含氢类富勒烯薄膜在潮湿大气和N2中的微观结构变化分析 | 第28-29页 |
| 2.4 本章小结 | 第29-30页 |
| 第3章 类富勒烯碳薄膜结构演变及摩擦学性能随沉积时间的变化 | 第30-35页 |
| 3.1 引言 | 第30页 |
| 3.2 实验部分 | 第30-31页 |
| 3.3 结果与讨论 | 第31-34页 |
| 3.3.1 类富勒烯碳薄膜的TEM图 | 第31页 |
| 3.3.2 类富勒烯碳薄膜的拉曼光谱分析 | 第31-32页 |
| 3.3.3 类富勒烯碳薄膜的摩擦学性能 | 第32-33页 |
| 3.3.4 类富勒烯碳薄膜低摩擦机理分析 | 第33-34页 |
| 3.4 本章小结 | 第34-35页 |
| 第4章 供能方式和氢含量对碳薄膜类富勒烯形成机制的影响 | 第35-42页 |
| 4.1 引言 | 第35页 |
| 4.2 实验部分 | 第35-36页 |
| 4.2.1 薄膜制备 | 第35-36页 |
| 4.2.2 薄膜表征 | 第36页 |
| 4.3 结果与讨论 | 第36-41页 |
| 4.3.1 氢化类富勒烯碳薄膜的硬度和弹性回复 | 第36-37页 |
| 4.3.2 氢化类富勒烯碳薄膜的基本结构特征 | 第37-38页 |
| 4.3.3 H对薄膜结构的影响 | 第38-39页 |
| 4.3.4 直流电源和脉冲电源制备薄膜的机构差异分析 | 第39-41页 |
| 4.4 本章小结 | 第41-42页 |
| 结论 | 第42-43页 |
| 参考文献 | 第43-49页 |
| 致谢 | 第49-50页 |
| 附录 A 攻读学位期间所发表的学术论文目录 | 第50页 |
