微型集成活齿传动系统研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 引言 | 第10-11页 |
| 1.2 微电机分类 | 第11-13页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第13-16页 |
| 1.4 论文主要研究内容 | 第16-18页 |
| 第2章 微型集成活齿传动系统受力及输出力矩分析 | 第18-34页 |
| 2.1 微型集成活齿传动系统基本结构及工作原理 | 第18-19页 |
| 2.2 微型集成活齿传动系统静力及输出力矩分析 | 第19-24页 |
| 2.3 结果与讨论 | 第24-27页 |
| 2.3.1 磁性线圈电流分析 | 第24-25页 |
| 2.3.2 活齿受力分析 | 第25-26页 |
| 2.3.3 系统输出力矩分析 | 第26-27页 |
| 2.4 参数变化对受力及输出力矩影响 | 第27-33页 |
| 2.4.1 参数变化对活齿受力影响 | 第27-31页 |
| 2.4.2 参数变化对输出力矩影响 | 第31-33页 |
| 2.5 本章小结 | 第33-34页 |
| 第3章 考虑范德华力微型集成活齿传动应力分析 | 第34-54页 |
| 3.1 微型集成活齿传动系统中范德华力分析 | 第34-37页 |
| 3.2 微型集成活齿传动系统接触应力分析 | 第37-42页 |
| 3.2.1 活齿与活齿架间接触应力 | 第38-40页 |
| 3.2.2 活齿与激波器及中心轮间接触应力 | 第40-42页 |
| 3.3 结果与讨论 | 第42-53页 |
| 3.3.1 范德华力对活齿受力影响分析 | 第42-43页 |
| 3.3.2 接触应力分析 | 第43-45页 |
| 3.3.3 参数变化条件下范德华力对活齿受力影响 | 第45-48页 |
| 3.3.4 参数变化引起零件间接触应力变化 | 第48-53页 |
| 3.4 本章小结 | 第53-54页 |
| 第4章 微型集成活齿传动系统主要零件加工实验 | 第54-76页 |
| 4.1 电子束光刻加工原理 | 第54页 |
| 4.2 真空镀膜机镀镍加工实验 | 第54-63页 |
| 4.2.1 工艺流程设计 | 第54-56页 |
| 4.2.2 硅片表面预处理 | 第56-57页 |
| 4.2.3 硅片表面镀铝及旋涂光刻胶 | 第57-58页 |
| 4.2.4 电子束光刻 | 第58-62页 |
| 4.2.5 蒸发镀镍 | 第62-63页 |
| 4.3 微电铸加工实验 | 第63-70页 |
| 4.3.1 金属电沉积原理 | 第63-64页 |
| 4.3.2 工艺流程设计 | 第64-65页 |
| 4.3.3 模具制备 | 第65-66页 |
| 4.3.4 电铸实验参数选择 | 第66-70页 |
| 4.4 中心轮加工实验 | 第70-73页 |
| 4.4.1 加工流程设计 | 第70-71页 |
| 4.4.2 中心轮加工 | 第71-73页 |
| 4.5 活齿架加工实验 | 第73-75页 |
| 4.5.1 加工流程设计 | 第73-74页 |
| 4.5.2 活齿架加工 | 第74-75页 |
| 4.6 本章小结 | 第75-76页 |
| 第5章 激波器和中心轮剥离实验 | 第76-84页 |
| 5.1 激波器剥离 | 第76-81页 |
| 5.1.1 激波器剥离流程设计 | 第76-77页 |
| 5.1.2 激波器剥离实验 | 第77-81页 |
| 5.2 中心轮剥离 | 第81-83页 |
| 5.2.1 中心轮剥离流程设计 | 第81页 |
| 5.2.2 中心轮剥离实验 | 第81-83页 |
| 5.3 本章小结 | 第83-84页 |
| 结论 | 第84-85页 |
| 参考文献 | 第85-89页 |
| 攻读硕士学位期间承担的科研任务与主要成果 | 第89-90页 |
| 致谢 | 第90页 |
