| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第10-24页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第10-11页 |
| 1.2 Al/CuO复合薄膜 | 第11-19页 |
| 1.2.1 Al/CuO复合薄膜的制备 | 第11-13页 |
| 1.2.2 Al/CuO复合薄膜的理论研究 | 第13-16页 |
| 1.2.3 Al/CuO复合薄膜换能元 | 第16-19页 |
| 1.3 介质薄膜的漏电流导电机制与击穿机理研究 | 第19-22页 |
| 1.3.1 介质薄膜的漏电流导电机制 | 第19-22页 |
| 1.3.2 介质薄膜的击穿机理研究 | 第22页 |
| 1.4 主要研究内容 | 第22-24页 |
| 2 Al/CuO复合薄膜的制备和表征 | 第24-31页 |
| 2.1 Al/CuO复合薄膜的制备 | 第24-26页 |
| 2.1.1 磁控溅射原理 | 第24页 |
| 2.1.2 实验设备及工艺 | 第24-26页 |
| 2.2 Al/CuO复合薄膜的成分表征 | 第26页 |
| 2.3 Al/CuO复合薄膜的微观结构表征 | 第26-28页 |
| 2.4 Al/CuO复合薄膜的热力学分析 | 第28-29页 |
| 2.5 本章小节 | 第29-31页 |
| 3 Al/CuO多层复合薄膜的法向击穿特性 | 第31-38页 |
| 3.1 实验样品及方法 | 第31页 |
| 3.2 Al/CuO多层复合薄膜的连续升压击穿特性 | 第31-34页 |
| 3.2.1 连续升压实验方法 | 第31-32页 |
| 3.2.2 Al/CuO多层复合薄膜的漏电流导电机制 | 第32-34页 |
| 3.2.3 Al/CuO多层复合薄膜的连续升压击穿结果分析 | 第34页 |
| 3.3 Al/CuO多层复合薄膜的电容电压击穿特性 | 第34-37页 |
| 3.3.1 电容电压击穿实验方法 | 第35页 |
| 3.3.2 Al/CuO多层复合薄膜的电容电压击穿结果分析 | 第35-37页 |
| 3.4 本章小结 | 第37-38页 |
| 4 介电式Al/CuO复合薄膜换能元的电爆换能特性及规律研究 | 第38-57页 |
| 4.1 介电式Al/CuO复合薄膜换能元的设计及制备 | 第38-41页 |
| 4.1.1 介电式Al/CuO复合薄膜换能元的设计 | 第38-39页 |
| 4.1.2 介电式Al/CuO复合薄膜换能元的制备 | 第39-41页 |
| 4.2 介电式Al/CuO复合薄膜换能元的电爆性能 | 第41-45页 |
| 4.2.1 电爆实验方法 | 第41-42页 |
| 4.2.2 介电式Al/CuO复合薄膜换能元的特征曲线分析与参数定义 | 第42-43页 |
| 4.2.3 介电式Al/CuO复合薄膜换能元的电爆过程分析 | 第43-45页 |
| 4.3 电容电压对介电式Al/CuO复合薄膜换能元电爆换能规律的影响 | 第45-51页 |
| 4.3.1 电容电压对介电式Al/CuO复合薄膜换能元电爆特征的影响 | 第45-47页 |
| 4.3.2 电容电压对介电式Al/CuO复合薄膜换能元电爆参数的影响 | 第47-50页 |
| 4.3.3 电容电压对介电式Al/CuO复合薄膜换能元换能过程的影响 | 第50-51页 |
| 4.4 调制周期对介电式Al/CuO复合薄膜换能元电爆换能规律的影响 | 第51-56页 |
| 4.4.1 调制周期对介电式Al/CuO复合薄膜换能元电爆特征的影响 | 第51-52页 |
| 4.4.2 调制周期对介电式Al/CuO复合薄膜换能元电爆参数的影响 | 第52-54页 |
| 4.4.3 调制周期对介电式Al/CuO复合薄膜换能元换能过程的影响 | 第54-56页 |
| 4.5 本章小节 | 第56-57页 |
| 5 结论与展望 | 第57-59页 |
| 5.1 结论 | 第57-58页 |
| 5.2 创新点 | 第58页 |
| 5.3 展望 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-64页 |
| 附录 | 第64页 |
