激光诱导三维金属布线的研究和应用于微流控系统

提要	第1-7页
第一章 绪论	第7-13页
·微机械的发展	第7-8页
·MEMS 技术应用于生命科学领域	第8-10页
·MEMS 技术在微流控芯片上的应用	第8页
·制作微流控芯片的材料	第8-9页
·微流控芯片的制作技术	第9-10页
·飞秒激光加工技术的优势	第10-13页
·飞秒激光加工技术制造聚合物微机械	第10-11页
·飞秒激光诱导金属沉积制作微纳结构	第11-13页
第二章 激光诱导加工银二维微纳结构	第13-25页
·飞秒激光诱导银沉积的机理	第13-17页
·镀液的组分及配置	第13-14页
·柠檬酸钠的作用分析	第14-15页
·飞秒激光在加工银镀液时的作用机制	第15-17页
·飞秒激光诱导加工二维金属银微纳结构	第17-25页
·飞秒激光加工银微纳结构的加工参数选择及影响	第17-19页
·微纳银线导电率的表征	第19-21页
·二维结构及简单器件的加工	第21-25页
第三章 激光诱导非平面衬底上三维布线及应用	第25-43页
·飞秒激光加工技术制作三维器件的机制	第25-26页
·激光诱导在非平面衬底上实现三维布线	第26-32页
·采用聚合物加工非平面衬底	第26-30页
·在非平面衬底上实现三维微纳银布线	第30-32页
·将飞秒激光诱导金属布线技术应用于微流控芯片系统	第32-43页
·微流控芯片集成微加热器的方式	第32-34页
·飞秒激光加工技术在微流路通道内加工微加热器	第34-37页
·微加热器加热效果的表征	第37-38页
·通道内微加热器件处局域温度的表征	第38-43页
第四章 结论	第43-44页
参考文献	第44-49页
研究生期间发表的学术论文	第49-50页
致谢	第50-52页
摘要	第52-54页
ABSTRACT	第54-56页