| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章绪论 | 第9-22页 |
| 1.1 太阳能电池的发展状况 | 第9-10页 |
| 1.2 铜铟镓硒薄膜太阳能电池的发展状况 | 第10-12页 |
| 1.3 铜铟镓硒薄膜太阳能电池的结构 | 第12-15页 |
| 1.4 国内外研究现状 | 第15-17页 |
| 1.4.1 提高光电转化效率 | 第15-16页 |
| 1.4.2 降低电池成本 | 第16页 |
| 1.4.3 柔性衬底工艺研发 | 第16-17页 |
| 1.4.4 无毒/无镉化研发 | 第17页 |
| 1.5 磁控溅射法制备CIGS薄膜的发展 | 第17-22页 |
| 1.5.1 单靶材制备CIGS薄膜 | 第17-18页 |
| 1.5.2 二元合金靶材制备CIGS薄膜 | 第18-19页 |
| 1.5.3 三元靶材制备CIGS薄膜 | 第19页 |
| 1.5.4 四元合金靶材制备CIGS薄膜 | 第19-20页 |
| 1.5.5 其他制备方法 | 第20-22页 |
| 第二章实验内容及表征方法 | 第22-27页 |
| 2.1 实验材料 | 第22-24页 |
| 2.1.1 铜铟镓硒薄膜的制备原料 | 第22-23页 |
| 2.1.2 ZnO和AZO薄膜的制备原料 | 第23-24页 |
| 2.1.3 衬底的预处理 | 第24页 |
| 2.2 材料的测试与表征 | 第24-27页 |
| 第三章吸收层CIGS薄膜制备及性能 | 第27-41页 |
| 3.1 引言 | 第27页 |
| 3.2 常温生长后再后续退火对CIGS薄膜的影响 | 第27-32页 |
| 3.3 高温生长后再后续退火对CIGS薄膜的影响 | 第32-36页 |
| 3.4 直接高温生长对CIGS光电性能的影响 | 第36-39页 |
| 3.4.1 对CIGS薄膜结构的影响 | 第36-37页 |
| 3.4.2 对CIGS薄膜形貌的影响 | 第37-38页 |
| 3.4.3 对CIGS光电性能的影响 | 第38-39页 |
| 3.5 本章小节 | 第39-41页 |
| 第四章 ZnO和AZO薄膜的制备及性能 | 第41-66页 |
| 4.1 引言 | 第41页 |
| 4.2 i-ZnO（本征氧化锌）和AZO的制备 | 第41-44页 |
| 4.3 磁控溅射法制备ZnO薄膜 | 第44-51页 |
| 4.3.1 溅射气压对结构及性能影响 | 第44-47页 |
| 4.3.2 溅射功率对结构及性能影响 | 第47-51页 |
| 4.4 溶胶-凝胶法制备ZnO薄膜 | 第51-53页 |
| 4.4.1 旋涂次数对结构的影响 | 第51-52页 |
| 4.4.2 旋涂次数对性能的影响 | 第52-53页 |
| 4.5 磁控溅射法与溶胶-凝胶法制备ZnO薄膜的对比 | 第53-55页 |
| 4.6 磁控溅射法制备AZO薄膜 | 第55-60页 |
| 4.6.1 溅射气压对性能的影响 | 第55-58页 |
| 4.6.2 溅射功率对性能的影响 | 第58-60页 |
| 4.7 溶胶-凝胶法制备AZO薄膜 | 第60-63页 |
| 4.7.1 铝掺杂量对电阻率的影响 | 第60-61页 |
| 4.7.2 旋涂次数对电阻率的影响 | 第61-62页 |
| 4.7.3 旋涂次数对透射率的影响 | 第62-63页 |
| 4.8 磁控溅射法与溶胶-凝胶法制备AZO薄膜的对比 | 第63-64页 |
| 4.9 本章小节 | 第64-66页 |
| 结论 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-73页 |
| 致谢 | 第73页 |