| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-40页 |
| 1.1 引言 | 第10页 |
| 1.2 透明导电氧化物薄膜 | 第10-12页 |
| 1.3 ZnO基透明导电薄膜及其应用 | 第12-15页 |
| 1.4 GZO透明导电薄膜研究现状 | 第15-38页 |
| 1.4.1 超薄高载流子浓度GZO透明导电薄膜的制备与特性研究现状 | 第15-20页 |
| 1.4.2 柔性衬底上高导电GZO透明导电薄膜的制备与特性研究现状 | 第20-28页 |
| 1.4.3 高雾度GZO透明导电薄膜的制备与特性研究现状 | 第28-33页 |
| 1.4.4 近红外GZO等离子体超材的制备与特性研究现状 | 第33-38页 |
| 1.5 本论文主要研究内容 | 第38-40页 |
| 第二章 超薄高载流子浓度GZO透明导电薄膜的制备与特性研究 | 第40-50页 |
| 2.1 实验 | 第41-42页 |
| 2.1.1 样品制备 | 第41-42页 |
| 2.1.2 样品表征 | 第42页 |
| 2.2 结果与讨论 | 第42-49页 |
| 2.2.1 Zn空位调节GZO载流子浓度机理 | 第42-43页 |
| 2.2.2 Zn空位对GZO薄膜光电特性影响 | 第43-46页 |
| 2.2.3 Zn空位对GZO薄膜结构特性影响 | 第46-49页 |
| 2.3 本章小结 | 第49-50页 |
| 第三章 柔性衬底高电导GZO薄膜的制备与特性研究 | 第50-64页 |
| 3.1 实验 | 第51-53页 |
| 3.1.1 样品制备 | 第51-53页 |
| 3.1.2 样品表征 | 第53页 |
| 3.2 结果与讨论 | 第53-62页 |
| 3.2.1 溅射功率对PET衬底上沉积HGZO透明导电薄膜特性的影响 | 第53-56页 |
| 3.2.2 溅射气体流量对PET衬底上沉积HGZO透明导电薄膜特性的影响 | 第56-61页 |
| 3.2.3 高电导HGZO/PET透明导电薄膜在PDLC中的应用 | 第61-62页 |
| 3.3 本章小结 | 第62-64页 |
| 第四章 高雾度GZO透明导电薄膜的制备及特性研究 | 第64-78页 |
| 4.1 实验 | 第65-68页 |
| 4.1.1 样品制备 | 第65-67页 |
| 4.1.2 样品表征 | 第67-68页 |
| 4.2 结果与讨论 | 第68-77页 |
| 4.2.1 绒面生物基GZO/PEF高雾度薄膜的一步法制备及其特性研究 | 第68-73页 |
| 4.2.2 平整光散射GZO/PI/SiO_2（小球）复合薄膜的制备及其特性研究 | 第73-77页 |
| 4.3 本章小结 | 第77-78页 |
| 第五章 SiO_2/GZO/Ag近红外宽光谱广角度完美吸收薄膜结构的制备及特性研究 | 第78-96页 |
| 5.1 实验 | 第79-81页 |
| 5.1.1 样品制备 | 第79-80页 |
| 5.1.2 样品表征 | 第80-81页 |
| 5.2 结果与讨论 | 第81-93页 |
| 5.2.1 Ga_2O_3浓度及衬底温度对GZO薄膜等离子体波长及损耗的调控 | 第81-88页 |
| 5.2.2 SiO_2/GZO/Ag近红外完美吸收薄膜理论拟合及实验结果 | 第88-93页 |
| 5.3 本章小结 | 第93-96页 |
| 第六章 全文总结与展望 | 第96-98页 |
| 6.1 全文总结 | 第96-97页 |
| 6.2 展望 | 第97-98页 |
| 参考文献 | 第98-112页 |
| 致谢 | 第112-114页 |
| 个人简历及在学期间发表论文与研究成果 | 第114-118页 |
