| 摘要 | 第8-10页 |
| ABSTRACT | 第10-11页 |
| 第一章 绪论 | 第12-20页 |
| 第一节 自旋电子学简介 | 第12-13页 |
| 第二节 巨磁电阻效应 | 第13-15页 |
| 1.2.1 巨磁电阻(GMR)效应的发现 | 第13-14页 |
| 1.2.2 巨磁电阻效应的理论及其应用 | 第14-15页 |
| 第三节 隧穿磁电阻效应与磁性隧道结 | 第15-18页 |
| 1.3.1 隧穿磁电阻的理论基础 | 第15-17页 |
| 1.3.2 磁性隧道结(magnetic tunneljunction,MTJ)的发展和应用 | 第17-18页 |
| 第四节 本论文的研究目的与研究内容 | 第18-20页 |
| 第二章 样品的制备方法与表征手段 | 第20-36页 |
| 第一节 样品的制备技术 | 第20-29页 |
| 2.1.1 磁控溅射沉积技术 | 第20-23页 |
| 2.1.2 紫外光刻和氩离子刻蚀微加工工艺 | 第23-29页 |
| 第二节 样品的表征技术 | 第29-36页 |
| 2.2.1 交变梯度磁强计(AGM) | 第29-30页 |
| 2.2.2 X射线衍射仪 | 第30-31页 |
| 2.2.3 原子力显微镜 | 第31页 |
| 2.2.4 超导量子干涉仪 | 第31-33页 |
| 2.2.5 铁磁共振测量系统 | 第33-34页 |
| 2.2.6 台阶仪 | 第34-35页 |
| 2.2.7 探针台 | 第35-36页 |
| 第三章 CoFeB/MgO/CoFeB磁性隧道结的生长与微加工制作 | 第36-49页 |
| 第一节 引言 | 第36-37页 |
| 第二节 自旋纳米微波振荡器 | 第37-40页 |
| 3.2.1 自旋转移力矩效应 | 第37-38页 |
| 3.2.2 自旋纳米微波振荡器 | 第38-40页 |
| 第三节 CoFeB/MgO/CoFeB磁性隧道结的生长与制作 | 第40-49页 |
| 3.3.1 样品的生长 | 第40-43页 |
| 3.3.2 CoFeB/MgO/CoFeB磁性隧道结的微加工制作 | 第43-49页 |
| 第四章 样品的磁性测量与TMR测量 | 第49-57页 |
| 第一节 MgO(001)晶向 | 第49-50页 |
| 第二节 磁性测量 | 第50-53页 |
| 4.2.1 IrMn/CoFeB的反铁磁钉扎 | 第50-51页 |
| 4.2.2 合成反铁磁结构 | 第51-53页 |
| 第三节 非线性I-V | 第53页 |
| 第四节 TMR测量 | 第53-55页 |
| 4.4.1 样品电极焊接处理 | 第53-54页 |
| 4.4.2 TMR测量 | 第54-55页 |
| 第五节 本章小结 | 第55-57页 |
| 第五章 总结与展望 | 第57-59页 |
| 第一节 本论文的主要工作和取得的成果 | 第57-58页 |
| 第二节 未来工作的展望 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-64页 |
| 致谢 | 第64-66页 |
| 参加的学术会议 | 第66-67页 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 | 第67页 |
