| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 第1章 绪论 | 第12-28页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第12页 |
| 1.2 国内外的发展现状 | 第12-25页 |
| 1.2.1 自由曲面发展历程及其研究机构 | 第13-14页 |
| 1.2.2 自由曲面光学系统设计方法 | 第14-20页 |
| 1.2.3 矢量像差理论 | 第20-21页 |
| 1.2.4 自由曲面应用 | 第21-25页 |
| 1.3 论文的主要研究内容 | 第25页 |
| 1.4 章节安排 | 第25-28页 |
| 第2章 自由曲面光学系统中的像差理论 | 第28-78页 |
| 2.1 引言 | 第28-29页 |
| 2.2 自由曲面表征形式 | 第29-46页 |
| 2.2.1 多项式函数描述的自由曲面 | 第29-37页 |
| 2.2.2 径向基函数描述的自由曲面 | 第37-40页 |
| 2.2.3 NURBS自由曲面 | 第40-44页 |
| 2.2.4 自由曲面之间的转换 | 第44-46页 |
| 2.3 光学元件的偏心和倾斜对像差节点行为的影响 | 第46-63页 |
| 2.3.1 球差 | 第49-50页 |
| 2.3.2 彗差 | 第50-52页 |
| 2.3.3 像散 | 第52-58页 |
| 2.3.4 场曲 | 第58-59页 |
| 2.3.5 畸变 | 第59-63页 |
| 2.4 自由曲面对像差节点行为的影响 | 第63-75页 |
| 2.4.1 Z_(F5)和Z_(F6)自由曲面对光学系统像差的影响 | 第67-69页 |
| 2.4.2 Z_(F7)和Z_(F8)自由曲面对光学系统像差的影响 | 第69-70页 |
| 2.4.3 Z_(F9)自由曲面对光学系统像差的影响 | 第70-72页 |
| 2.4.4 Z_(F10)和Z_(F11)自由曲面对光学系统像差的影响 | 第72-75页 |
| 2.5 本章小结 | 第75-78页 |
| 第3章 自由曲面应用于反射式光学系统 | 第78-120页 |
| 3.1 引言 | 第78-79页 |
| 3.2 非旋转对称光学系统的像质评价 | 第79-89页 |
| 3.2.1 近轴参考网格 | 第79-82页 |
| 3.2.2 最佳参考网格 | 第82-85页 |
| 3.2.3 最佳参考网格参数的求取 | 第85-88页 |
| 3.2.4 基于最佳参考网格的像质评价与优化 | 第88-89页 |
| 3.3 自由曲面离轴三反射镜光学系统设计 | 第89-106页 |
| 3.3.1 初始结构计算 | 第90-97页 |
| 3.3.2 离轴方案 | 第97-99页 |
| 3.3.3 自由曲面的应用及优化 | 第99-102页 |
| 3.3.4 基于最佳参考网格的像质评价与优化 | 第102-105页 |
| 3.3.5 公差分析 | 第105-106页 |
| 3.4 自由曲面离轴两反射镜头盔显示器设计 | 第106-118页 |
| 3.4.1 设计指标选定 | 第107-108页 |
| 3.4.2 自由曲面的应用与优化控制 | 第108-112页 |
| 3.4.3 像质评价 | 第112-117页 |
| 3.4.4 公差分析 | 第117-118页 |
| 3.5 本章小结 | 第118-120页 |
| 第4章 自由曲面应用于NA1.35光刻物镜 | 第120-166页 |
| 4.1 引言 | 第120-122页 |
| 4.2 投影光刻物镜设计基础 | 第122-129页 |
| 4.2.1 投影光刻技术简介 | 第122-123页 |
| 4.2.2 国内外研究现状 | 第123-124页 |
| 4.2.3 投影光刻物镜系统参数分析 | 第124-128页 |
| 4.2.4 提高NA的方法 | 第128-129页 |
| 4.3 NA1.35投影光刻物镜设计 | 第129-147页 |
| 4.3.1 初始结构选取 | 第130-134页 |
| 4.3.2 约束与优化 | 第134-136页 |
| 4.3.3 自由曲面的应用 | 第136-141页 |
| 4.3.4 像质评价 | 第141-147页 |
| 4.4 自由曲面对折射率均匀性的补偿 | 第147-164页 |
| 4.4.1 公差分类及补偿方式 | 第147-148页 |
| 4.4.2 折射率均匀性分析 | 第148-150页 |
| 4.4.3 折射率均匀性补偿方案 | 第150-158页 |
| 4.4.4 补偿流程 | 第158-161页 |
| 4.4.5 补偿结果 | 第161-164页 |
| 4.5 本章小结 | 第164-166页 |
| 第5章 总结与展望 | 第166-168页 |
| 5.1 主要工作 | 第166-167页 |
| 5.2 主要创新点 | 第167页 |
| 5.3 工作展望 | 第167-168页 |
| 参考文献 | 第168-180页 |
| 在学期间学术成果情况 | 第180-182页 |
| 指导教师及作者简介 | 第182-184页 |
| 致谢 | 第184页 |
