| 摘要 | 第5-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-22页 |
| 1.1 研究背景和研究意义 | 第10-12页 |
| 1.2 微结构光学元件超精密磨削加工研究现状 | 第12-17页 |
| 1.2.1 国外研究现状 | 第12-16页 |
| 1.2.2 国内研究现状 | 第16-17页 |
| 1.3 超声振动磨削技术研究现状 | 第17-20页 |
| 1.3.1 国外研究现状 | 第17-18页 |
| 1.3.2 国内研究现状 | 第18-20页 |
| 1.4 本课题的研究内容 | 第20-22页 |
| 第2章 微结构阵列模具超声椭圆振动磨削机理 | 第22-34页 |
| 2.1 引言 | 第22页 |
| 2.2 超声椭圆振动系统的建立 | 第22-25页 |
| 2.2.1 超声椭圆振动系统工作原理 | 第22-23页 |
| 2.2.2 超声椭圆振动系统振动特性检测 | 第23-25页 |
| 2.3 微结构超声椭圆振动辅助磨削加工的运动学分析 | 第25-30页 |
| 2.3.1 单颗磨粒运动几何学分析 | 第25-28页 |
| 2.3.2 连续间隔多颗磨粒运动轨迹分析 | 第28-30页 |
| 2.4 最大未变形切削厚度分析 | 第30-32页 |
| 2.5 本章小结 | 第32-34页 |
| 第3章 微结构阵列磨削金刚石砂轮精密修整实验研究 | 第34-48页 |
| 3.1 引言 | 第34页 |
| 3.2 微结构阵列磨削金刚石砂轮磨损机制 | 第34-38页 |
| 3.3 微结构表面磨削金刚石砂轮的修整方案确定 | 第38-40页 |
| 3.3.1 碳化硅修整轮切向挤压修整原理 | 第38-39页 |
| 3.3.2 砂轮修整工艺方案 | 第39-40页 |
| 3.3.3 砂轮修整的检测 | 第40页 |
| 3.4 旋转碳化硅修整轮修整工艺研究 | 第40-46页 |
| 3.4.1 修整参数对尖端圆弧半径的影响 | 第40-41页 |
| 3.4.2 修整轮粒度对尖端圆弧半径的影响 | 第41-42页 |
| 3.4.3 修整后砂轮表面形貌分析 | 第42-44页 |
| 3.4.4 碳化硅修整轮修整比分析 | 第44-46页 |
| 3.5 本章小结 | 第46-48页 |
| 第4章 微结构阵列模具超声椭圆振动磨削表面微观形貌研究 | 第48-60页 |
| 4.1 引言 | 第48页 |
| 4.2 实验方案及实验设备 | 第48-50页 |
| 4.3 微结构阵列模具超声椭圆振动磨削实验研究 | 第50-58页 |
| 4.3.1 V沟槽磨削表面粗糙度分析 | 第50-53页 |
| 4.3.2 V沟槽磨削表面形貌观察与分析 | 第53-57页 |
| 4.3.3 V沟槽磨削亚表面损伤观察与分析 | 第57-58页 |
| 4.4 本章小结 | 第58-60页 |
| 第5章 微结构阵列模具磨削工艺实验研究 | 第60-66页 |
| 5.1 引言 | 第60页 |
| 5.2 微结构阵列模具磨削实验方案 | 第60-62页 |
| 5.2.1 磨削参数确定 | 第60-61页 |
| 5.2.2 修整参数确定 | 第61-62页 |
| 5.3 工艺实验研究结果讨论与分析 | 第62-63页 |
| 5.4 本章小结 | 第63-66页 |
| 结论与展望 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-74页 |
| 攻读学位期间发表论文与研究成果清单 | 第74-76页 |
| 致谢 | 第76页 |