| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-17页 |
| ·引言 | 第8-9页 |
| ·气体检测方法介绍 | 第9-11页 |
| ·红外气体检测的研究背景及研究状况 | 第11-16页 |
| ·研究背景及意义 | 第11-12页 |
| ·红外气体传感器的组成及分类 | 第12页 |
| ·红外气体检测与MEMS | 第12-13页 |
| ·MEMS 红外气体传感器的国内外研究状况 | 第13-16页 |
| ·论文主要内容 | 第16-17页 |
| 第二章 MEMS 电容式红外光强探测器的结构设计 | 第17-28页 |
| ·气体的红外吸收 | 第17-18页 |
| ·MEMS 电容式红外光强探测器的结构 | 第18-22页 |
| ·基本结构 | 第18-19页 |
| ·设计原理 | 第19-22页 |
| ·MEMS 电容式红外光强探测器的选材 | 第22-25页 |
| ·气动腔腔体的选材 | 第22-24页 |
| ·平板电容极板及电极引线的选材 | 第24页 |
| ·入射窗口及电容固定极板基底的选材 | 第24-25页 |
| ·MEMS 电容式红外光强探测器的ANSYS 热力学结构仿真 | 第25-27页 |
| ·气动腔的ANSYS 热分析 | 第25-27页 |
| ·弹性薄膜的热力学结构仿真 | 第27页 |
| ·本章内容小结 | 第27-28页 |
| 第三章 MEMS 电容式红外光强探测器的制备技术研究 | 第28-40页 |
| ·微机械加工技术分类 | 第28-34页 |
| ·硅基微机械加工技术 | 第28-33页 |
| ·非硅基微加工技术 | 第33-34页 |
| ·红外探测器的制备技术研究 | 第34-37页 |
| ·气动腔的制备技术 | 第34-35页 |
| ·平板电容器固定极板的制备技术 | 第35-37页 |
| ·红外探测器的制备工艺流程 | 第37-38页 |
| ·本章小结 | 第38-40页 |
| 第四章 检测电路及系统特性理论定标 | 第40-45页 |
| ·微电容检测电路的选取 | 第40-43页 |
| ·红外探测器的系统特性理论定标 | 第43-44页 |
| ·灵敏度 | 第44页 |
| ·探测范围 | 第44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第五章 总结与展望 | 第45-47页 |
| ·总结 | 第45页 |
| ·展望 | 第45-47页 |
| 参考文献 | 第47-48页 |
| 致谢 | 第48-49页 |
| 在读期间发表的学术论文与取得的研究成果 | 第49页 |