| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第9-22页 |
| 1.1 课题研究目的和意义 | 第9-10页 |
| 1.2 压电材料的研究现状 | 第10-11页 |
| 1.3 BZT-BCT 基薄膜的电性能 | 第11-17页 |
| 1.3.1 BZT-BCT 基薄膜的介电性能 | 第12-14页 |
| 1.3.2 BZT-BCT 基薄膜的铁电性能 | 第14-15页 |
| 1.3.3 BZT-BCT 基薄膜的压电性能 | 第15-17页 |
| 1.4 BZT-BCT 基薄膜的制备方法 | 第17-19页 |
| 1.4.1 溅射法 | 第17-18页 |
| 1.4.2 脉冲激光沉积法 | 第18页 |
| 1.4.3 金属有机化学气相沉积 | 第18页 |
| 1.4.4 溶胶凝胶法 | 第18-19页 |
| 1.5 BZT-BZT 基薄膜的应用前景 | 第19-21页 |
| 1.6 本文主要研究内容 | 第21-22页 |
| 第2章 试验材料及研究方法 | 第22-27页 |
| 2.1 试验材料及薄膜制备 | 第22-24页 |
| 2.1.1 试验材料 | 第22页 |
| 2.1.2 薄膜制备流程 | 第22-24页 |
| 2.2 薄膜制备工艺参数 | 第24-25页 |
| 2.2.1 薄膜制备的主要工艺参数 | 第24页 |
| 2.2.2 电极制备的工艺参数 | 第24-25页 |
| 2.3 薄膜微观结构与性能的研究方法 | 第25-27页 |
| 2.3.1 X 射线物相及织构分析 | 第25页 |
| 2.3.2 原子力显微镜表面形貌观察 | 第25页 |
| 2.3.3 薄膜介电性能测试 | 第25页 |
| 2.3.4 薄膜铁电性能测试 | 第25-26页 |
| 2.3.5 薄膜压电性能测试 | 第26-27页 |
| 第3章 BZT-BCT 薄膜的微观结构与电性能 | 第27-43页 |
| 3.1 引言 | 第27页 |
| 3.2 BZT-BCT 薄膜的微观结构 | 第27-30页 |
| 3.2.1 预烧温度及晶化方式对薄膜相结构的影响 | 第27-29页 |
| 3.2.2 晶化行为对薄膜的表面形貌影响 | 第29-30页 |
| 3.3 成分对 BZT-BCT 薄膜微观结构的影响 | 第30-34页 |
| 3.3.1 Ca 掺杂 BZT 薄膜的相结构 | 第30-31页 |
| 3.3.2 BZT-xBCT 薄膜的相结构 | 第31-33页 |
| 3.3.3 BZT-xBCT 薄膜的表面形貌 | 第33-34页 |
| 3.4 厚度对 BZT-BCT 薄膜微观结构的影响 | 第34-35页 |
| 3.4.1 不同厚度 BZT-0.50BCT 薄膜的相结构 | 第34页 |
| 3.4.2 不同厚度 BZT-0.50BCT 薄膜的表面形貌 | 第34-35页 |
| 3.5 BZT-BCT 薄膜的电性能 | 第35-42页 |
| 3.5.1 晶化温度对薄膜电性能的影响 | 第35-36页 |
| 3.5.2 Ca 掺杂 BZT 薄膜的电性能 | 第36-38页 |
| 3.5.3 BZT-xBCT 薄膜的电性能 | 第38-41页 |
| 3.5.4 不同厚度 BZT-0.50BCT 薄膜的电性能 | 第41-42页 |
| 3.6 本章小结 | 第42-43页 |
| 第4章 种子层优化 BZT-BCT 薄膜微观结构与电性能 | 第43-57页 |
| 4.1 引言 | 第43页 |
| 4.2 CaTiO_3和 TiO_2种子层对 BZT-0.50BCT 薄膜微观结构的影响 | 第43-44页 |
| 4.3 LaNiO_3种子层对 BZT-BCT 薄膜微观结构的影响 | 第44-50页 |
| 4.3.1 LaNiO_3种子层成膜工艺对 BZT-BCT 薄膜相结构的影响 | 第45-46页 |
| 4.3.2 BZT-xBCT/LNO 薄膜的相结构 | 第46-48页 |
| 4.3.3 BZT-xBCT/LNO 薄膜的表面形貌 | 第48-50页 |
| 4.4 BZT-xBCT/LNO 薄膜的电性能 | 第50-53页 |
| 4.4.1 BZT-xBCT/LNO 薄膜的介电性能 | 第50-51页 |
| 4.4.2 BZT-xBCT/LNO 薄膜的铁电性能 | 第51-52页 |
| 4.4.3 BZT-xBCT/LNO 薄膜的压电性能 | 第52-53页 |
| 4.5 厚度对 BZT-0.50BCT/LNO 薄膜的微观结构与电性能的影响 | 第53-56页 |
| 4.5.1 不同厚度 BZT-0.50BCT/LNO 薄膜的物相结构 | 第53-54页 |
| 4.5.2 不同厚度 BZT-0.50BCT/LNO 薄膜的电性能 | 第54-56页 |
| 4.6 本章小结 | 第56-57页 |
| 第5章 元素掺杂 BZT-0.50BCT 薄膜微观结构与电性能 | 第57-67页 |
| 5.1 引言 | 第57页 |
| 5.2 Mn 掺杂 BZT-0.50BCT 薄膜的微观结构与电性能 | 第57-59页 |
| 5.2.1 Mn 掺杂 BZT-0.50BCT 薄膜的微观结构 | 第57-58页 |
| 5.2.2 Mn 掺杂 BZT-0.50BCT 薄膜的电性能 | 第58-59页 |
| 5.3 La 掺杂 BZT-0.50BCT 薄膜的微观结构与电性能 | 第59-62页 |
| 5.3.1 La 掺杂 BZT-0.50BCT 薄膜的微观结构 | 第59-61页 |
| 5.3.2 La 掺杂 BZT-0.50BCT 薄膜的电性能 | 第61-62页 |
| 5.4 La 掺杂 BZT-0.50BCT/LNO 薄膜的微观结构与电性能 | 第62-66页 |
| 5.4.1 (Ba_(1-x)La_xCa_(0.15))(Zr_(0.1)Ti_(0.9))O_3/LNO 薄膜的相结构 | 第63页 |
| 5.4.2 (Ba_(1-x)La_xCa_(0.15))(Zr_(0.1)Ti_(0.9))O_3/LNO 薄膜的表面形貌 | 第63-64页 |
| 5.4.3 (Ba_(1-x)La_xCa_(0.15))(Zr_(0.1)Ti_(0.9))O_3/LNO 薄膜的电性能 | 第64-66页 |
| 5.5 本章小结 | 第66-67页 |
| 结论 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-73页 |
| 致谢 | 第73页 |
