| 摘要 | 第6-8页 |
| abstract | 第8-9页 |
| 第一章 绪论 | 第13-38页 |
| 1.1 引言 | 第13页 |
| 1.2 铁电薄膜的结构与应用 | 第13-23页 |
| 1.2.1 铁电薄膜的结构与铁电性 | 第13-17页 |
| 1.2.2 铁电薄膜的应用 | 第17-23页 |
| 1.3 铁电薄膜理论基础 | 第23-27页 |
| 1.4 铁电薄膜制备技术 | 第27-31页 |
| 1.4.1 物理制膜技术 | 第27-28页 |
| 1.4.2 化学沉积工艺 | 第28-31页 |
| 1.5 铁电薄膜研究进展 | 第31-36页 |
| 1.5.1 铁电薄膜改性 | 第31-34页 |
| 1.5.2 贱金属衬底上铁电薄膜的研究进展 | 第34-36页 |
| 1.6 本文研究内容 | 第36-38页 |
| 第二章 贱金属衬底上BST薄膜的制备与表征 | 第38-48页 |
| 2.1 薄膜制备 | 第38-41页 |
| 2.1.1 LNO缓冲层的制备 | 第39-40页 |
| 2.1.2 BST薄膜的制备 | 第40页 |
| 2.1.3 PZT薄膜的制备 | 第40-41页 |
| 2.2 结构表征 | 第41-43页 |
| 2.2.1 物相结构表征 | 第42页 |
| 2.2.2 表面形貌观测 | 第42-43页 |
| 2.3 拉曼光谱分析 | 第43-44页 |
| 2.4 电性能表征 | 第44-48页 |
| 2.4.1 电极的制备 | 第44-45页 |
| 2.4.2 介电性能测试 | 第45-46页 |
| 2.4.3 铁电性能与漏电流密度表征 | 第46-48页 |
| 第三章 SS衬底上BST/LNO薄膜的结构与性能 | 第48-66页 |
| 3.1 引言 | 第48页 |
| 3.2 LNO缓冲层厚度对BST薄膜晶体结构与介电性能的影响 | 第48-51页 |
| 3.3 LNO缓冲层对BST薄膜结构与电性能的影响 | 第51-58页 |
| 3.3.1 BST/LNO薄膜的晶体结构和表面形貌 | 第51-54页 |
| 3.3.2 BST/LNO薄膜的介电与漏电性能 | 第54-58页 |
| 3.4 BST薄膜的厚度效应 | 第58-59页 |
| 3.5 Mn掺杂改性BST薄膜 | 第59-65页 |
| 3.5.1 Mn掺杂量对BST薄膜晶体结构和介电性能的影响 | 第59-62页 |
| 3.5.2 Mn梯度掺杂BST薄膜的晶体结构与电性能 | 第62-65页 |
| 3.6 本章小结 | 第65-66页 |
| 第四章 SS衬底上BST多层薄膜的组分结构设计与性能调控 | 第66-86页 |
| 4.1 引言 | 第66页 |
| 4.2 三明治结构BST薄膜 | 第66-73页 |
| 4.2.1 三明治结构BST薄膜的表面形貌与晶体结构 | 第67-70页 |
| 4.2.2 三明治结构BST薄膜的介电与调谐性能 | 第70-73页 |
| 4.3 同质缓冲层上的BST薄膜 | 第73-76页 |
| 4.3.1 同质缓冲层上BST薄膜的晶体结构 | 第74页 |
| 4.3.2 同质缓冲层上BST薄膜的介电性能 | 第74-76页 |
| 4.4 组分梯度BST薄膜 | 第76-84页 |
| 4.4.1 组分梯度BST薄膜的形貌与晶体结构 | 第77-81页 |
| 4.4.2 组分梯度BST薄膜的介电性能及温度稳定性 | 第81-84页 |
| 4.5 本章小结 | 第84-86页 |
| 第五章 PZT/BST多层薄膜的结构与性能 | 第86-103页 |
| 5.1 引言 | 第86-87页 |
| 5.2 SS衬底上PZT/BST多层薄膜的介电与铁电性能 | 第87-89页 |
| 5.3 Ti衬底上PZT/BST多层薄膜的结构与性能 | 第89-101页 |
| 5.3.1 Ti衬底上PZT/BST多层薄膜的晶体结构与表面形貌 | 第89-91页 |
| 5.3.2 Ti衬底上PZT/BST多层薄膜的介电性能 | 第91-94页 |
| 5.3.3 Ti衬底上PZT/BST多层薄膜的铁电与漏电性能 | 第94-96页 |
| 5.3.4 Ti衬底上PZT/BST多层薄膜的厚度效应 | 第96-101页 |
| 5.4 本章小结 | 第101-103页 |
| 第六章 贱金属衬底上BST薄膜介电性能的唯象理论研究 | 第103-121页 |
| 6.1 引言 | 第103-104页 |
| 6.2 用唯象理论研究BST薄膜中应力与介电性能的关系 | 第104-115页 |
| 6.2.1 L-D唯象理论模型 | 第104-105页 |
| 6.2.2 L-D模型修正 | 第105-112页 |
| 6.2.3 修正L-D模型研究BST多层薄膜的介电性能 | 第112-115页 |
| 6.3 用唯象理论研究PZT/BST多层薄膜中的静电耦合效应 | 第115-120页 |
| 6.3.1 静电耦合效应的唯象理论研究方法 | 第115-116页 |
| 6.3.2 PZT/BST多层薄膜中的静电耦合效应 | 第116-120页 |
| 6.4 本章小结 | 第120-121页 |
| 第七章 结论与展望 | 第121-124页 |
| 7.1 结论 | 第121-122页 |
| 7.2 展望 | 第122-124页 |
| 参考文献 | 第124-140页 |
| 作者在攻读博士期间公开发表的论文和专利 | 第140-142页 |
| 致谢 | 第142-143页 |
