| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-16页 |
| 1.1 MEMS 技术及其发展应用 | 第11-13页 |
| 1.2 微机械加速度计概述及国内外发展状况 | 第13-15页 |
| 1.3 本文的主要工作 | 第15-16页 |
| 第二章 微加速度计的工作原理及结构仿真 | 第16-28页 |
| 2.1 加速度计的数学模型 | 第16-18页 |
| 2.2 几种典型加速度计 | 第18-21页 |
| 2.2.1 隧道电流式加速度计 | 第18页 |
| 2.2.2 压阻式加速度计 | 第18-19页 |
| 2.2.3 压电式加速度计 | 第19-20页 |
| 2.2.4 电容式加速度计 | 第20-21页 |
| 2.3 电容式微加速度计的三种结构 | 第21-24页 |
| 2.3.1 翘翘板摆式电容加速度计 | 第21-22页 |
| 2.3.2 梳齿式电容加速度计 | 第22-23页 |
| 2.3.3 三明治式电容加速度计 | 第23-24页 |
| 2.4 三明治式电容加速度计的结构及ANSYS 仿真 | 第24-27页 |
| 2.4.1 三明治式微加速度计的总体结构 | 第24-25页 |
| 2.4.2 ANSYS 仿真结果及分析 | 第25-27页 |
| 2.5 本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 微机械加速度计的加工工艺 | 第28-49页 |
| 3.1 MEMS 加工工艺概述 | 第28-34页 |
| 3.1.1 表面微加工工艺 | 第29页 |
| 3.1.2 体加工工艺 | 第29-32页 |
| 3.1.3 LIGA 技术 | 第32-34页 |
| 3.2 电容式微加速度计的制作工艺 | 第34-48页 |
| 3.2.1 电容式微加速度计材料的选择 | 第34-35页 |
| 3.2.2 电容式微加速度计的工艺流程 | 第35-39页 |
| 3.2.3 下极板及中间极板的制作工艺 | 第39-43页 |
| 3.2.4 上极板的加工工艺 | 第43-47页 |
| 3.2.5 上下极板的焊接 | 第47-48页 |
| 3.3 本章小结 | 第48-49页 |
| 第四章 电容式微加速度计的检测 | 第49-67页 |
| 4.1 微加速度计中的静电力作用 | 第49-51页 |
| 4.2 电容式加速度计检测原理 | 第51-55页 |
| 4.2.1 差分电容检测原理 | 第51-52页 |
| 4.2.2 开环电容式加速度计原理 | 第52-53页 |
| 4.2.3 闭环电容式加速度计原理 | 第53-55页 |
| 4.3 电容式微加速度计的自检结构 | 第55-56页 |
| 4.4 MS3110 的调节 | 第56-60页 |
| 4.4.1 MS3110 介绍 | 第56-57页 |
| 4.4.2 MS3110 芯片的参数调节 | 第57-60页 |
| 4.5 实验数据的采集 | 第60-66页 |
| 4.5.1 虚拟仪器及LabVIEW 简介 | 第60-64页 |
| 4.5.2 LabVIEW 的图形化设计 | 第64-65页 |
| 4.5.3 实验数据采集 | 第65-66页 |
| 4.6 结论 | 第66-67页 |
| 第五章 结束语与展望 | 第67-69页 |
| 5.1 研究工作总结 | 第67-68页 |
| 5.2 工作展望 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 攻读硕士期间发表的论文 | 第73-74页 |
| 上海交通大学学位论文答辩决议书 | 第74-75页 |