轻敲模式原子力显微镜的优化研究

中文摘要	第3-4页
英文摘要	第4页
第一章 绪论	第5-12页
1．1 扫描探针显微术的历史	第5-9页
1．2 扫描探针显微术的现状	第9-11页
1．3 研究内容	第11页
参考文献	第11-12页
第二章 原子力显微镜	第12-23页
2．1 力模型	第12-15页
2．2 工作模式	第15-22页
参考文献	第22-23页
第三章 系统设计	第23-42页
3．1 整体结构	第23-24页
3．2 微位移机构设计	第24-29页
3．3 纳米传感器设计	第29-36页
3．4 控制系统设计	第36-38页
3．5 软件系统设计	第38-41页
参考文献	第41-42页
第四章 精度分析	第42-52页
4．1 横向精度	第42-46页
4．2 纵向精度	第46-49页
4．3 时间精度	第49-51页
参考文献	第51-52页
第五章 实验结果及其分析	第52-58页
5．1 谐振频率测量	第52-53页
5．2 力曲线测量	第53-54页
5．3 样品测试结果	第54-57页
参考文献	第57-58页
第六章 未来展望	第58-61页
6．1 应用前景	第58-59页
6．2 系统的进一步提高	第59-60页
参考文献	第60-61页
致谢	第61页