低反射超疏水太阳能电池表面结构的制备工艺研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 1 绪论 | 第8-18页 |
| 1.1 课题来源 | 第8页 |
| 1.2 课题目的及意义 | 第8-9页 |
| 1.3 低反射与超疏水表面制备的研究现状 | 第9-17页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第17-18页 |
| 2 低反射超疏水表面机理研究及仿真分析 | 第18-32页 |
| 2.1 薄膜减反射机理 | 第18-19页 |
| 2.2 微结构减反射机理研究与光学仿真 | 第19-26页 |
| 2.3 固体表面疏水机理 | 第26-31页 |
| 2.4 本章小结 | 第31-32页 |
| 3 多功能微纳结构表面的湿法腐蚀制备方法 | 第32-42页 |
| 3.1 纳米线形成机理 | 第32-33页 |
| 3.2 实验步骤 | 第33-34页 |
| 3.3 表面结构检测及分析 | 第34-37页 |
| 3.4 光学特性分析 | 第37-39页 |
| 3.5 疏水性测量及分析 | 第39-41页 |
| 3.6 本章小结 | 第41-42页 |
| 4 基于自组装单层纳米粒子制备微纳结构的方法 | 第42-53页 |
| 4.1 单层纳米粒子的自组装工艺 | 第43-49页 |
| 4.2 RIE 刻蚀及磁控溅射镀膜工艺 | 第49-50页 |
| 4.3 金属催化化学刻蚀 | 第50-51页 |
| 4.4 反射率测试 | 第51-52页 |
| 4.5 本章小结 | 第52-53页 |
| 5 工作总结与展望 | 第53-55页 |
| 5.1 全文总结 | 第53-54页 |
| 5.2 工作展望 | 第54-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-59页 |
| 附录I 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第59页 |
